Se você precisa de um susceptor de grafite de alto desempenho para uso em aplicações de fabricação de semicondutores, o reator de deposição epitaxial de silício em barril Semicorex é a escolha ideal. Seu revestimento de SiC de alta pureza e excepcional condutividade térmica fornecem proteção superior e propriedades de distribuição de calor, tornando-o a escolha certa para um desempenho confiável e consistente mesmo nos ambientes mais desafiadores.
O Semicorex Silicon Epitaxial Deposition In Barrel Reactor é um produto ideal para o crescimento de camadas epixiais em chips de wafer. É um suporte de grafite revestido de SiC de alta pureza que é altamente resistente ao calor e à corrosão, tornando-o perfeito para uso em ambientes extremos. Este susceptor de barril é adequado para LPE e oferece excelente desempenho térmico, garantindo a uniformidade do perfil térmico. Além disso, garante o melhor padrão de fluxo de gás laminar e evita que contaminação ou impurezas se difundam no wafer.
Na Semicorex, nos concentramos em fornecer produtos de alta qualidade e econômicos aos nossos clientes. Nosso reator de deposição epitaxial de silício em barril tem uma vantagem de preço e é exportado para muitos mercados europeus e americanos. Nosso objetivo é ser seu parceiro de longo prazo, oferecendo produtos de qualidade consistente e atendimento excepcional ao cliente.
Parâmetros de Deposição Epitaxial de Silício em Reator Barril
Principais especificações do revestimento CVD-SIC |
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Propriedades do SiC-CVD |
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Estrutura de cristal |
FCC fase β |
|
Densidade |
g/cm³ |
3.21 |
Dureza |
Dureza Vickers |
2500 |
Tamanho de grão |
¼m |
2~10 |
Pureza Química |
% |
99.99995 |
Capacidade de calor |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Temperatura de sublimação |
℃ |
2700 |
Força Felexural |
MPa (RT 4 pontos) |
415 |
Módulo de Young |
Gpa (dobra de 4pt, 1300â) |
430 |
Expansão Térmica (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Condutividade térmica |
(W/mK) |
300 |
Características da Deposição Epitaxial de Silício em Reator Barril
- Tanto o substrato de grafite quanto a camada de carboneto de silício têm boa densidade e podem desempenhar um bom papel de proteção em ambientes de trabalho corrosivos e de alta temperatura.
- Susceptor revestido de carboneto de silício usado para crescimento de cristal único tem um nivelamento de superfície muito alto.
- Reduza a diferença no coeficiente de expansão térmica entre o substrato de grafite e a camada de carboneto de silício, melhore efetivamente a força de ligação para evitar rachaduras e delaminação.
- Tanto o substrato de grafite quanto a camada de carboneto de silício têm alta condutividade térmica e excelentes propriedades de distribuição de calor.
- Alto ponto de fusão, resistência à oxidação em alta temperatura, resistência à corrosão.