A cerâmica de carboneto de silício (SiC) é um material cerâmico avançado que contém silício e carbono. Grãos de carboneto de silício podem ser unidos por sinterização para formar cerâmicas muito duras. A Semicorex fornece cerâmica de carboneto de silício personalizada conforme sua necessidade.
Formulários
Com a cerâmica de carboneto de silício, as propriedades do material permanecem constantes até temperaturas acima de 1.400°C. O alto módulo de Young > 400 GPa garante excelente estabilidade dimensional.
Uma aplicação típica para componentes de carboneto de silício é a tecnologia de vedação dinâmica usando rolamentos de fricção e selos mecânicos, por exemplo, em bombas e sistemas de acionamento.
Com as propriedades avançadas, a cerâmica de carboneto de silício também é ideal para uso na indústria de semicondutores.
barcos de wafer
O Semicorex Wafer Boat é feito de cerâmica de carboneto de silício sinterizado, que possui boa resistência à corrosão e excelente resistência a altas temperaturas e choque térmico. A cerâmica avançada oferece excelente resistência térmica e durabilidade do plasma enquanto reduz partículas e contaminantes para transportadores de wafer de alta capacidade.
Reação de carboneto de silício sinterizado
Em comparação com outros processos de sinterização, a mudança de tamanho da sinterização de reação durante o processo de densificação é pequena e produtos com dimensões precisas podem ser produzidos. No entanto, a presença de uma grande quantidade de SiC no corpo sinterizado piora o desempenho de alta temperatura da cerâmica de SiC sinterizada por reação.
Carboneto de silício sinterizado sem pressão
O carboneto de silício sinterizado sem pressão (SSiC) é uma cerâmica particularmente leve e ao mesmo tempo dura de alto desempenho. O SSiC é caracterizado por alta resistência, que permanece quase constante mesmo em temperaturas extremas.
carboneto de silício recristal
Carboneto de silício recristalizado (RSiC) são materiais de próxima geração formados pela mistura de pó grosso de carboneto de silício de alta pureza e pó fino de carboneto de silício de alta atividade e, após o rejunte, sinterização a vácuo a 2450 ° C para recristalizar.
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Reação de carboneto de silício sinterizado |
Carboneto de Silício Sinterizado Sem Pressão |
Carboneto de Silício Recristalizado |
Propriedades típicas |
Unidades |
valores |
|
|
Densidade aparente |
g/cm3 |
3 |
3,15 ± 0,03 |
2,60-2,70 |
Resistência à flexão |
MPa (kpsi) |
338(49) |
380(55) |
80-90 (20°C) |
Força compressiva |
MPa (kpsi) |
1120(158) |
3970(560) |
> 600 |
Dureza |
Knoop |
2700 |
2800 |
/ |
Quebrando Tenacidade |
MPa m1/2 |
4.5 |
4 |
/ |
Condutividade térmica |
W/m.k |
95 |
120 |
23 |
Coeficiente de expansão térmica |
10-60,1/°C |
5 |
4 |
4.7 |
Calor específico |
Joule/g 0k |
0.8 |
0.67 |
/ |
Temperatura máxima no ar |
℃ |
1200 |
1500 |
1600 |
Módulo Elástico |
Gpa |
360 |
410 |
240 |
Resistência à flexão |
MPa (kpsi) |
338(49) |
380(55) |
80-90 (20°C) |
Semicorex Wafer Boat Carrier se destaca como o auge da inovação no domínio do processamento de semicondutores. Fabricado meticulosamente a partir de grafite e fortificado com um revestimento de ponta de carboneto de silício (SiC) por deposição química de vapor (CVD), este suporte exemplifica a engenharia de precisão e a ciência avançada de materiais. A Semicorex está comprometida em fornecer produtos de qualidade a preços competitivos. Esperamos nos tornar seu parceiro de longo prazo na China.
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