China Componentes semicondutores Fabricantes, Fornecedores, Fábrica

Como manufatura profissional, gostaríamos de fornecer a você componentes semicondutores. A Semicorex é sua parceira para melhorar o processamento de semicondutores. Nossos revestimentos de carboneto de silício são densos, resistentes a altas temperaturas e produtos químicos, que são frequentemente usados ​​em todo o ciclo de fabricação de semicondutores, incluindo wafer de semicondutor e processamento de wafer e fabricação de semicondutores.

Os componentes revestidos de SiC de alta pureza são cruciais para os processos no semicondutor. Nossa oferta varia de consumíveis de grafite para zonas quentes de crescimento de cristal (aquecedores, susceptores de cadinho, isolamento) a componentes de grafite de alta precisão para equipamentos de processamento de wafer, como susceptores de grafite revestidos de carboneto de silício para Epitaxy ou MOCVD.

Vantagens para processos de semicondutores

As fases de deposição de filmes finos, como epitaxia ou MOCVD, ou processamento de manuseio de wafer, como corrosão ou implante de íons, devem suportar altas temperaturas e limpeza química severa. A construção de grafite revestida de carboneto de silício (SiC) de alta pureza fornece resistência superior ao calor e resistência química durável, uniformidade térmica uniforme para espessura e resistência consistentes da camada epi.

Tampas de câmara â
As tampas de câmara usadas no crescimento de cristais e no processamento de wafer devem suportar altas temperaturas e limpeza química severa.

End Effector â
O efetor final é a mão do robô que move os wafers semicondutores entre as posições no equipamento de processamento de wafer e nos transportadores.

Anéis de entrada â
Anel de entrada de gás revestido com SiC pelo equipamento MOCVD O crescimento composto tem alta resistência ao calor e à corrosão, que tem grande estabilidade em ambientes extremos.

Anel de Foco â
O anel de foco revestido com carboneto de silício é realmente estável para RTA, RTP ou limpeza química severa.

Wafer Chuck â
Os mandris de wafer de cerâmica semicorex ultraplanos são revestidos com SiC de alta pureza para uso no processo de manuseio de wafer.