Como fabricante profissional, gostaríamos de fornecer componentes semicondutores. A Semicorex é sua parceira para melhoria no processamento de semicondutores. Nossos revestimentos de carboneto de silício são densos, resistentes a altas temperaturas e a produtos químicos, que são frequentemente usados em todo o ciclo de fabricação de semicondutores, incluindo wafer semicondutor, processamento de wafer e fabricação de semicondutores.
Componentes revestidos com SiC de alta pureza são cruciais para processos no semicondutor. Nossa oferta varia de consumíveis de grafite para zonas quentes de crescimento de cristais (aquecedores, susceptores de cadinho, isolamento) até componentes de grafite de alta precisão para equipamentos de processamento de wafer, como susceptores de grafite revestidos com carboneto de silício para Epitaxy ou MOCVD.
Vantagens para processos de semicondutores
As fases de deposição de filme fino, como epitaxia ou MOCVD, ou processamento de manuseio de wafer, como gravação ou implante iônico, devem suportar altas temperaturas e limpeza química severa. A Semicorex fornece construção de grafite revestida com carboneto de silício (SiC) de alta pureza que oferece resistência superior ao calor e resistência química durável, até mesmo uniformidade térmica para espessura e resistência consistentes da camada epi.
Tampas de Câmara →
As tampas de câmara usadas no crescimento de cristais e no processamento de manuseio de wafers devem suportar altas temperaturas e limpeza química severa.
Efetor final →
O efetor final é a mão do robô que move wafers semicondutores entre posições em equipamentos de processamento de wafers e transportadores.
Anéis de entrada →
Anel de entrada de gás revestido com SiC pelo equipamento MOCVD O crescimento do composto possui alta resistência ao calor e à corrosão, que possui grande estabilidade em ambientes extremos.
Anel de foco →
A Semicorex fornece anel de foco revestido com carboneto de silício é realmente estável para RTA, RTP ou limpeza química agressiva.
Mandril de wafer →
Os mandris de wafer de cerâmica ultraplanos Semicorex são revestidos com SiC de alta pureza no processo de manuseio de wafer.
Os eletrodos de silício de cristal único Semicorex servem tanto como eletrodos quanto como vias de gás de gravação durante o processo de gravação de wafer. Os eletrodos de silício de cristal único Semicorex são os componentes de silício indispensáveis, projetados especialmente para a fabricação de gravação de semicondutores de alta tecnologia, o que pode ajudar a melhorar a precisão e a uniformidade da gravação.
consulte Mais informaçãoEnviar consultaAs pás cantilever Semicorex são componentes de engenharia de precisão projetados para aplicações de processamento de semicondutores de alta temperatura e alta pureza. A Semicorex fornece pás cantilever de alta qualidade para atender aos exigentes requisitos de manuseio avançado de wafers e sistemas de gerenciamento térmico.*
consulte Mais informaçãoEnviar consultaOs anéis de gravação de silício Semicorex são componentes de gravação em forma de anel de precisão fabricados a partir de silício de cristal único de alta pureza. São as peças essenciais de silício utilizadas no equipamento de gravação a plasma, projetadas especialmente para criar condições ideais de gravação a plasma. Escolha Semicorex, escolha os anéis de gravação de silicone de alta qualidade.
consulte Mais informaçãoEnviar consultaOs tubos de forno Semicorex para LPCVD são componentes tubulares fabricados com precisão com revestimento CVD SiC uniforme e denso. Especialmente projetados para o processo avançado de deposição de vapor químico de baixa pressão, os tubos de forno Semicorex para LPCVD são capazes de fornecer ambientes de reação adequados de alta temperatura e baixa pressão para melhorar a qualidade e o rendimento da deposição de filme fino de wafer.
consulte Mais informaçãoEnviar consultaOs tubos de forno revestidos com SiC Semicorex CVD são componentes tubulares de alta qualidade fabricados especificamente para o processamento de semicondutores em alta temperatura, como oxidação, difusão e recozimento de wafers semicondutores. Aproveitando tecnologias de processamento avançadas e experiência de fabricação madura, a Semicorex está comprometida em fornecer tubos de forno revestidos com SiC CVD usinados com precisão com qualidade líder de mercado para nossos valiosos clientes.
consulte Mais informaçãoEnviar consultaOs tubos de processo Semicorex SiC são feitos de cerâmica SiC de alta pureza com revestimento CVD SiC, são adequados para forno horizontal em semicondutores. Considerando a qualidade do produto e o serviço pós-venda, a Semicorex é quem deseja fazer negócios de alta qualidade com nossos clientes em todo o mundo.*
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