Como fabricante profissional, gostaríamos de fornecer componentes semicondutores. A Semicorex é sua parceira para melhoria no processamento de semicondutores. Nossos revestimentos de carboneto de silício são densos, resistentes a altas temperaturas e a produtos químicos, que são frequentemente usados em todo o ciclo de fabricação de semicondutores, incluindo wafer semicondutor, processamento de wafer e fabricação de semicondutores.
Componentes revestidos com SiC de alta pureza são cruciais para processos no semicondutor. Nossa oferta varia de consumíveis de grafite para zonas quentes de crescimento de cristais (aquecedores, susceptores de cadinho, isolamento) até componentes de grafite de alta precisão para equipamentos de processamento de wafer, como susceptores de grafite revestidos com carboneto de silício para Epitaxy ou MOCVD.
Vantagens para processos de semicondutores
As fases de deposição de filme fino, como epitaxia ou MOCVD, ou processamento de manuseio de wafer, como gravação ou implante iônico, devem suportar altas temperaturas e limpeza química severa. A Semicorex fornece construção de grafite revestida com carboneto de silício (SiC) de alta pureza que oferece resistência superior ao calor e resistência química durável, até mesmo uniformidade térmica para espessura e resistência consistentes da camada epi.
Tampas de Câmara →
As tampas de câmara usadas no crescimento de cristais e no processamento de manuseio de wafers devem suportar altas temperaturas e limpeza química severa.
Efetor final →
O efetor final é a mão do robô que move wafers semicondutores entre posições em equipamentos de processamento de wafers e transportadores.
Anéis de entrada →
Anel de entrada de gás revestido com SiC pelo equipamento MOCVD O crescimento do composto possui alta resistência ao calor e à corrosão, que possui grande estabilidade em ambientes extremos.
Anel de foco →
A Semicorex fornece anel de foco revestido com carboneto de silício é realmente estável para RTA, RTP ou limpeza química agressiva.
Mandril de wafer →
Os mandris de wafer de cerâmica ultraplanos Semicorex são revestidos com SiC de alta pureza no processo de manuseio de wafer.
O revestimento CVD SiC do aquecedor de revestimento Semicorex SiC oferece desempenho superior na proteção de elementos de aquecimento contra ambientes agressivos, corrosivos e reativos frequentemente encontrados em processos como deposição de vapor químico metal-orgânico (MOCVD) e crescimento epitaxial.**
consulte Mais informaçãoEnviar consultaO chuveiro metálico, conhecido como placa de distribuição de gás ou chuveiro a gás, é um componente crítico amplamente utilizado em processos de fabricação de semicondutores. Sua função principal é distribuir uniformemente os gases em uma câmara de reação, garantindo que os materiais semicondutores entrem em contato uniforme com o processo. gases.**
consulte Mais informaçãoEnviar consultaO Aquecedor MOCVD da Semicorex é um componente altamente avançado e meticulosamente projetado que oferece uma infinidade de vantagens, incluindo excepcional pureza química, eficiência térmica, condutividade elétrica, alta emissividade, resistência à corrosão, inoxidabilidade e resistência mecânica.**
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