Como fabricante profissional, gostaríamos de fornecer componentes semicondutores. A Semicorex é sua parceira para melhoria no processamento de semicondutores. Nossos revestimentos de carboneto de silício são densos, resistentes a altas temperaturas e a produtos químicos, que são frequentemente usados em todo o ciclo de fabricação de semicondutores, incluindo wafer semicondutor, processamento de wafer e fabricação de semicondutores.
Componentes revestidos com SiC de alta pureza são cruciais para processos no semicondutor. Nossa oferta varia de consumíveis de grafite para zonas quentes de crescimento de cristais (aquecedores, susceptores de cadinho, isolamento) até componentes de grafite de alta precisão para equipamentos de processamento de wafer, como susceptores de grafite revestidos com carboneto de silício para Epitaxy ou MOCVD.
Vantagens para processos de semicondutores
As fases de deposição de filme fino, como epitaxia ou MOCVD, ou processamento de manuseio de wafer, como gravação ou implante iônico, devem suportar altas temperaturas e limpeza química severa. A Semicorex fornece construção de grafite revestida com carboneto de silício (SiC) de alta pureza que oferece resistência superior ao calor e resistência química durável, até mesmo uniformidade térmica para espessura e resistência consistentes da camada epi.
Tampas de Câmara →
As tampas de câmara usadas no crescimento de cristais e no processamento de manuseio de wafers devem suportar altas temperaturas e limpeza química severa.
Efetor final →
O efetor final é a mão do robô que move wafers semicondutores entre posições em equipamentos de processamento de wafers e transportadores.
Anéis de entrada →
Anel de entrada de gás revestido com SiC pelo equipamento MOCVD O crescimento do composto possui alta resistência ao calor e à corrosão, que possui grande estabilidade em ambientes extremos.
Anel de foco →
A Semicorex fornece anel de foco revestido com carboneto de silício é realmente estável para RTA, RTP ou limpeza química agressiva.
Mandril de wafer →
Os mandris de wafer de cerâmica ultraplanos Semicorex são revestidos com SiC de alta pureza no processo de manuseio de wafer.
Os tubos de processo Semicorex SiC são feitos de cerâmica SiC de alta pureza com revestimento CVD SiC, são adequados para forno horizontal em semicondutores. Considerando a qualidade do produto e o serviço pós-venda, a Semicorex é quem deseja fazer negócios de alta qualidade com nossos clientes em todo o mundo.*
consulte Mais informaçãoEnviar consultaA pá cantilever SiC de alta pureza Semicorex é feita de cerâmica SiC sinterizada de alta pureza, que é uma peça estrutural em forno horizontal em semicondutores. A Semicorex é uma empresa experiente no fornecimento de componentes de SiC na indústria de semicondutores.*
consulte Mais informaçãoEnviar consultaO alvo planar de silício monocristalino da Semicorex é um componente crucial na indústria de fabricação de semicondutores de ponta. Fabricado com material de silício monocristalino de alta qualidade, apresenta uma estrutura cristalina altamente ordenada e uma pureza notável. Essas propriedades o tornam uma solução ideal para a fabricação de filmes semicondutores e filmes ópticos confiáveis e de alto desempenho.
consulte Mais informaçãoEnviar consultaOs cassetes de silício Semicorex são transportadores especializados fabricados com 99,9999999% de silício monocristalino e policristalino de alta pureza, especialmente focados na fabricação de semicondutores de alta qualidade. Selecionar a Semicorex significa que você se beneficiará de qualidade confiável, serviços de personalização e aumento de produtividade.
consulte Mais informaçãoEnviar consultaO mandril de cerâmica porosa personalizado é a solução superior de fixação e fixação de peças projetada exclusivamente para a fabricação de semicondutores. Selecionar a Semicorex significa que você se beneficiará de qualidade confiável, serviços de personalização e aumento de produtividade.
consulte Mais informaçãoEnviar consultaO chuveiro de silício de cristal único, conhecido como cabeçote de pulverização de gás ou placa de distribuição de gás, é um dispositivo de distribuição de gás amplamente utilizado em processos de fabricação de semicondutores para etapas importantes do processo, como limpeza, gravação e deposição. O chuveiro de silício de cristal único de alta qualidade e econômico é essencial para melhorar a precisão e a qualidade da fabricação de chips na indústria de semicondutores.
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