Eletrodos Curvos de Silício

Durante o equipamento de gravação avançado, o eletrodo curvo de silício é geralmente montado no topo da câmara de gravação, voltado para o wafer semicondutor. O eletrodo curvo de silício normalmente opera em conjunto com o mandril eletrostático, anel de foco de Si, anel de borda de Si, anel de exaustão de Si e anel de blindagem de Si para fornecer condições operacionais ideais para gravação de alta precisão.

Funções dos eletrodos curvos de silício Semicorex

1. Compatível com gravação de estrutura 3D complexa

Com excepcional capacidade de controle de campo elétrico 3D, Semicorexeletrodos curvos de silíciopode combinar perfeitamente com as características geométricas de estruturas complexas. O design curvo especial permite o controle preciso do plasma e a distribuição otimizada de energia, o que afeta significativamente a proporção e a verticalidade da parede lateral da gravação da estrutura 3D e atende totalmente aos requisitos da linha de produção de processos avançados de embalagem e integração de IC 3D.

2. Controle preciso da distribuição de gás de corrosão

Os eletrodos curvos de silício Semicorex apresentam vários microfuros uniformemente distribuídos em sua superfície para que o gás de gravação entre na câmara de gravação. Os eletrodos curvos de silício Semicorex podem obter controle preciso do gás de gravação e permitir que ele seja distribuído uniformemente na câmara de gravação, minimizando assim as variações do processo causadas pela distribuição não uniforme do gás.

Vantagens dos eletrodos curvos de silício Semicorex

1. Pureza ultra-alta

Os eletrodos curvos de silício Semicorex são feitos de cristal único de ultra-alta purezasilíciocom nível de pureza acima de 99,9999999%, oferecendo resistência superior à erosão plasmática. Esta seleção de materiais de alto padrão pode efetivamente evitar contaminação indesejada resultante de subprodutos de corrosão, ao mesmo tempo em que prolonga significativamente a vida útil dos eletrodos curvos de silício.

2. Excelentes propriedades elétricas

Fabricados a partir de silício monocristalino desenvolvido pela MCZ, os eletrodos curvos de silício Semicorex exibem excelente uniformidade de resistividade: <5% e uma ampla faixa de resistividade selecionável: baixa resolução. (<0,02), resolução média. (1–4) e alta resolução. (70–90).

3. Precisão de processamento de precisão

Através do processamento mecânico de alta precisão, os eletrodos curvos de silício Semicorex alcançam tamanho de poro consistente e distribuição uniforme de furos. Suas superfícies são finamente polidas e retificadas: polidas (Ra < 0,1 μm) e retificadas (Ra < 1,6 μm), com precisão geral de usinagem controlada em 0,03 mm.