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Os êmbolos cerâmicos de alumina Semicorex são componentes de movimento cilíndrico de precisão fabricados a partir de matérias-primas de alumina premium. Como alternativa atualizada aos êmbolos metálicos convencionais, os êmbolos cerâmicos de alumina Semicorex são a solução ideal para suportar ambientes de trabalho exigentes com alta pressão, abrasão pesada e corrosão química intensa.

Os cilindros guia compostos Semicorex C/C são os componentes funcionais indispensáveis, especialmente usados ​​para o crescimento de silício monocristalino de alta pureza. Fabricados a partir de compósitos carbono-carbono de alto desempenho por meio de tecnologias especializadas, os cilindros guia compostos Semicorex C/C sustentam uma operação estável de longo prazo sob os desafiadores campos térmicos de silício monocristalino com alta temperatura e atmosferas corrosivas.

Os barcos de wafer SiC de 6 polegadas da Semicorex são as ferramentas cruciais para transporte de wafers de cerâmica usados ​​para retenção, transferência e processamento de wafers. Feitos sob medida para conter wafers de 6 polegadas, os barcos de wafer SiC de 6 polegadas da Semicorex são perfeitamente compatíveis com as duras condições de trabalho do processo de difusão de semicondutores em altas temperaturas, oferecendo resultados de manuseio de wafers livres de contaminação e danos.

Os efetores finais de cerâmica de alumina Semicorex são os componentes estruturais mecânicos indispensáveis, feitos com precisão de cerâmica de alumina premium. Capable of precise execution of crucial wafer handling tasks, including wafer pick-up, transit, and alignment, Semicorex alumina ceramic end effectors find broad application in high-end semiconductor fabrication equipment and high-precision automation systems.

Os aquecedores revestidos de SiC Semicorex são componentes de aquecimento de grafite revestidos de SiC CVD projetados para campos térmicos de semicondutores, fornecendo geração de calor eficiente, excelente resistência à corrosão e confiabilidade de longo prazo em equipamentos de processamento de alta temperatura. A Semicorex fornece aquecedores de grafite revestidos de SiC personalizados e soluções completas de campo térmico para fabricantes de semicondutores em todo o mundo, apoiados por tecnologia avançada de revestimento CVD, engenharia de precisão e entrega global confiável.*

As pás de cerâmica SiC Semicorex são transportadores de wafer cantilever de carboneto de silício de alta pureza projetados para manuseio e transporte confiável de wafer em processos de forno de semicondutores de alta temperatura, oferecendo excelente estabilidade térmica, baixa contaminação e longa vida útil. A Semicorex fornece componentes de forno cerâmico SiC de alto desempenho para clientes em todo o mundo, fornecendo projetos personalizados, fabricação de precisão e entrega global confiável para indústrias de semicondutores e fotovoltaicas.*