A placa central de grafite Semicorex ou susceptor MOCVD é um carboneto de silício de alta pureza revestido pelo método de deposição química de vapor (CVD), usado no processo para fazer crescer a camada epitaxial no chip wafer. O susceptor revestido de SiC é uma parte essencial do MOCVD, por isso exige uma resistência térmica e química superior, bem como alta uniformidade térmica. Nós projetamos especificamente para essas exigentes aplicações de equipamentos de epitaxia.