O grafite com revestimento TaC é criado revestindo a superfície de um substrato de grafite de alta pureza com uma fina camada de carboneto de tântalo por meio de um processo proprietário de Deposição Química de Vapor (CVD).
O carboneto de tântalo (TaC) é um composto que consiste em tântalo e carbono. Possui condutividade elétrica metálica e ponto de fusão excepcionalmente alto, tornando-o um material cerâmico refratário conhecido por sua resistência, dureza e resistência ao calor e ao desgaste. O ponto de fusão dos carbonetos de tântalo atinge o pico em cerca de 3880°C dependendo da pureza e tem um dos pontos de fusão mais altos entre os compostos binários. Isso o torna uma alternativa atraente quando as demandas de temperaturas mais altas excedem as capacidades de desempenho usadas em processos epitaxiais de semicondutores compostos, como MOCVD e LPE.
Dados materiais do revestimento Semicorex TaC
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Projetos |
Parâmetros |
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Densidade |
14,3 (g/cm³) |
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Emissividade |
0.3 |
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CTE (×10-6/K) |
6.3 |
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Dureza (HK) |
2000 |
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Resistência (Ohm-cm) |
1x10-5 |
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Estabilidade Térmica |
<2500℃ |
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Mudança de dimensão de grafite |
-10~-20um (valor de referência) |
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Espessura do revestimento |
≥20um valor típico(35um±10um) |
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Os acima são valores típicos |
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A cerâmica porosa de carboneto de tântalo Semicorex é uma cerâmica porosa de alto desempenho projetada especificamente no processo de transporte físico de vapor (PVT). Sua estrutura porosa especial e excelentes propriedades desempenham um papel importante na facilitação do crescimento de cristais de carboneto de silício de alta qualidade. Ao escolher a Semicorex, você obterá soluções cerâmicas porosas ideais com qualidade consistente e desempenho estável para fabricação avançada de semicondutores.
consulte Mais informaçãoEnviar consultaOs anéis porosos de carboneto de tântalo Semicorex são componentes refratários de alto desempenho projetados especificamente para o processo de transporte físico de vapor (PVT) de crescimento de cristal de carboneto de silício (SiC), apresentando uma estrutura sinterizada monolítica que oferece estabilidade térmica excepcional e permeabilidade controlada a gases.*
consulte Mais informaçãoEnviar consultaOs susceptores de wafer de grafite revestidos com TaC Semicorex são os componentes de ponta normalmente aplicados para suportar e posicionar de forma estável os wafers semicondutores durante os processos epitaxiais de semicondutores avançados. Aproveitando tecnologias de produção de última geração e experiência de fabricação madura, a Semicorex está comprometida em fornecer susceptores de wafer de grafite revestidos com TaC de engenharia personalizada com qualidade líder de mercado para nossos valiosos clientes.
consulte Mais informaçãoEnviar consultaOs susceptores revestidos com TaC CVD Semicorex são susceptores de grafite de alto desempenho com um revestimento TaC denso, projetados para fornecer excelente uniformidade térmica e resistência à corrosão para processos exigentes de crescimento epitaxial de SiC. A Semicorex combina tecnologia avançada de revestimento CVD com rigoroso controle de qualidade para fornecer susceptores duradouros e de baixa contaminação, confiáveis pelos fabricantes globais de epi SiC.*
consulte Mais informaçãoEnviar consultaOs anéis-guia revestidos com carboneto de tântalo Semicorex são os componentes do anel de alto desempenho usados no equipamento de crescimento de cristal semicondutor. Eles são projetados especificamente para criar um gradiente de temperatura adequado e um ambiente de fluxo de ar estável durante o crescimento do cristal. Ao escolher anéis-guia revestidos de carboneto de tântalo Semicorex, você se beneficiará de uma tecnologia de revestimento incomparável e de uma experiência de produção altamente eficiente e estável.
consulte Mais informaçãoEnviar consultaO cadinho de grafite revestido Semicorex TaC é feito de grafite com revestimento de carboneto de tântalo através do método CVD, que é o material mais adequado aplicado no processo de fabricação de semicondutores. A Semicorex é uma empresa consistentemente especializada em revestimento cerâmico CVD e oferece as melhores soluções de materiais na indústria de semicondutores.*
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