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O grafite com revestimento TaC é criado revestindo a superfície de um substrato de grafite de alta pureza com uma fina camada de carboneto de tântalo por meio de um processo proprietário de Deposição Química de Vapor (CVD).



O carboneto de tântalo (TaC) é um composto que consiste em tântalo e carbono. Possui condutividade elétrica metálica e ponto de fusão excepcionalmente alto, tornando-o um material cerâmico refratário conhecido por sua resistência, dureza e resistência ao calor e ao desgaste. O ponto de fusão dos carbonetos de tântalo atinge o pico em cerca de 3880°C dependendo da pureza e tem um dos pontos de fusão mais altos entre os compostos binários. Isso o torna uma alternativa atraente quando as demandas de temperaturas mais altas excedem as capacidades de desempenho usadas em processos epitaxiais de semicondutores compostos, como MOCVD e LPE.


Dados materiais do revestimento Semicorex TaC

Projetos

Parâmetros

Densidade

14,3 (g/cm³)

Emissividade

0.3

CTE (×10-6/K)

6.3

Dureza (HK)

2000

Resistência (Ohm-cm)

1x10-5

Estabilidade Térmica

<2500℃

Mudança de dimensão de grafite

-10~-20um (valor de referência)

Espessura do revestimento

≥20um valor típico(35um±10um)



Os acima são valores típicos




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Carboneto de tântalo poroso cerâmico

Carboneto de tântalo poroso cerâmico

A cerâmica porosa de carboneto de tântalo Semicorex é uma cerâmica porosa de alto desempenho projetada especificamente no processo de transporte físico de vapor (PVT). Sua estrutura porosa especial e excelentes propriedades desempenham um papel importante na facilitação do crescimento de cristais de carboneto de silício de alta qualidade. Ao escolher a Semicorex, você obterá soluções cerâmicas porosas ideais com qualidade consistente e desempenho estável para fabricação avançada de semicondutores.

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Anéis porosos de carboneto de tântalo

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Os anéis porosos de carboneto de tântalo Semicorex são componentes refratários de alto desempenho projetados especificamente para o processo de transporte físico de vapor (PVT) de crescimento de cristal de carboneto de silício (SiC), apresentando uma estrutura sinterizada monolítica que oferece estabilidade térmica excepcional e permeabilidade controlada a gases.*

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Susceptores de wafer de grafite revestido com TaC

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Os susceptores de wafer de grafite revestidos com TaC Semicorex são os componentes de ponta normalmente aplicados para suportar e posicionar de forma estável os wafers semicondutores durante os processos epitaxiais de semicondutores avançados. Aproveitando tecnologias de produção de última geração e experiência de fabricação madura, a Semicorex está comprometida em fornecer susceptores de wafer de grafite revestidos com TaC de engenharia personalizada com qualidade líder de mercado para nossos valiosos clientes.

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Susceptores revestidos com CVD TaC

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Os susceptores revestidos com TaC CVD Semicorex são susceptores de grafite de alto desempenho com um revestimento TaC denso, projetados para fornecer excelente uniformidade térmica e resistência à corrosão para processos exigentes de crescimento epitaxial de SiC. A Semicorex combina tecnologia avançada de revestimento CVD com rigoroso controle de qualidade para fornecer susceptores duradouros e de baixa contaminação, confiáveis ​​pelos fabricantes globais de epi SiC.*

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Anéis-guia revestidos de carboneto de tântalo

Anéis-guia revestidos de carboneto de tântalo

Os anéis-guia revestidos com carboneto de tântalo Semicorex são os componentes do anel de alto desempenho usados ​​no equipamento de crescimento de cristal semicondutor. Eles são projetados especificamente para criar um gradiente de temperatura adequado e um ambiente de fluxo de ar estável durante o crescimento do cristal. Ao escolher anéis-guia revestidos de carboneto de tântalo Semicorex, você se beneficiará de uma tecnologia de revestimento incomparável e de uma experiência de produção altamente eficiente e estável.

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Cadinho de grafite revestido com TaC

Cadinho de grafite revestido com TaC

O cadinho de grafite revestido Semicorex TaC é feito de grafite com revestimento de carboneto de tântalo através do método CVD, que é o material mais adequado aplicado no processo de fabricação de semicondutores. A Semicorex é uma empresa consistentemente especializada em revestimento cerâmico CVD e oferece as melhores soluções de materiais na indústria de semicondutores.*

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A Semicorex produz Revestimento TaC há muitos anos e é um dos fabricantes e fornecedores profissionais de Revestimento TaC na China. Depois de comprar nossos produtos avançados e duráveis ​​que fornecem embalagem a granel, garantimos a grande quantidade em entrega rápida. Ao longo dos anos, fornecemos aos clientes um serviço personalizado. Os clientes estão satisfeitos com nossos produtos e excelente serviço. Esperamos sinceramente tornar-se seu parceiro comercial confiável de longo prazo! Bem-vindo ao comprar produtos de nossa fábrica.
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