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Um chuveiro de SiC (carboneto de silício) é um componente especializado usado em vários processos industriais, principalmente na indústria de fabricação de semicondutores. Ele foi projetado para distribuir e fornecer gases de processo de maneira uniforme e precisa durante a deposição química de vapor (CVD) e processos de crescimento epitaxial.

O chuveiro tem o formato de um disco ou placa com vários orifícios ou bicos distribuídos uniformemente em sua superfície. Esses orifícios servem como saídas para os gases do processo, permitindo que sejam injetados na câmara do processo ou na câmara de reação. O tamanho, formato e distribuição dos furos podem variar dependendo da aplicação específica e dos requisitos do processo.

Uma das principais vantagens de usar um chuveiro SiC é sua excelente condutividade térmica. Esta propriedade permite uma transferência de calor eficiente e uma distribuição uniforme da temperatura em toda a superfície do chuveiro, evitando pontos quentes e garantindo condições de processo consistentes. A condutividade térmica aprimorada também permite o resfriamento rápido do chuveiro após o processo, minimizando o tempo de inatividade e aumentando a produtividade geral.

Os chuveiros de SiC são altamente duráveis ​​e resistentes ao desgaste, mesmo sob exposição prolongada a gases corrosivos e altas temperaturas. Essa longevidade se traduz em intervalos de manutenção estendidos e redução do tempo de inatividade do equipamento, resultando em economia de custos e maior confiabilidade do processo.

Além de sua robustez, os chuveiros SiC oferecem excelentes capacidades de distribuição de gás. Os padrões e configurações de furos projetados com precisão garantem fluxo e distribuição uniformes de gás sobre a superfície do substrato, promovendo deposição consistente de filme e desempenho aprimorado do dispositivo. A distribuição uniforme de gás também ajuda a minimizar variações na espessura do filme, na composição e em outros parâmetros críticos, contribuindo para melhorar o controle e o rendimento do processo.

Semicorex oferece um chuveiro semicondutor de carboneto de silício sinterizado de baixa resistividade.  Temos a capacidade de projetar e fornecer materiais cerâmicos avançados utilizando uma variedade de recursos exclusivos.