Como fabricante profissional, gostaríamos de fornecer a você um aquecedor de wafer. Aquecedores para equipamentos de deposição exigem distribuição térmica uniforme em todo o wafer, juntamente com alta pureza e resistência ao plasma. Semicorex fornece aplicações de aquecimento revestidas com carboneto de silício CVD incluindo aquecedores e cadinhos. Nossos componentes de aquecimento avançados são adequados para ambientes de deposição a vácuo processos ALD-CVD-PVD.
O revestimento CVD SiC do aquecedor de revestimento Semicorex SiC oferece desempenho superior na proteção de elementos de aquecimento contra ambientes agressivos, corrosivos e reativos frequentemente encontrados em processos como deposição de vapor químico metal-orgânico (MOCVD) e crescimento epitaxial.**
consulte Mais informaçãoEnviar consultaO Aquecedor MOCVD da Semicorex é um componente altamente avançado e meticulosamente projetado que oferece uma infinidade de vantagens, incluindo excepcional pureza química, eficiência térmica, condutividade elétrica, alta emissividade, resistência à corrosão, inoxidabilidade e resistência mecânica.**
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