O transportador Semicorex RTP é revestido com carboneto de silício usando o processo de deposição química de vapor (CVD), que é realmente estável para RTA, RTP ou limpeza química agressiva. No centro do processo semicondutor, os susceptores de epitaxia são primeiro submetidos ao ambiente de deposição, por isso possuem alta resistência ao calor e à corrosão. O suporte revestido de SiC também possui alta condutividade térmica e excelentes propriedades de distribuição de calor.
● Grafite revestida com SiC de alta pureza
● Resistência superior ao calor e resistência química
● Alta uniformidade térmica
● Excelente resistência ao desgaste
O Anel Semicorex RTP é um anel de grafite revestido de SiC projetado para aplicações de alto desempenho em sistemas de Processamento Térmico Rápido (RTP). Escolha a Semicorex por nossa avançada tecnologia de materiais, garantindo durabilidade, precisão e confiabilidade superiores na fabricação de semicondutores.*
consulte Mais informaçãoEnviar consultaA placa transportadora de grafite RTP da Semicorex é a solução perfeita para aplicações de processamento de wafer semicondutor, incluindo crescimento epitaxial e processamento de manuseio de wafer. Nosso produto foi projetado para oferecer resistência superior ao calor e uniformidade térmica, garantindo que os susceptores de epitaxia sejam submetidos ao ambiente de deposição, com alta resistência ao calor e à corrosão.
consulte Mais informaçãoEnviar consultaO Semicorex RTP SiC Coating Carrier oferece resistência ao calor superior e uniformidade térmica, tornando-o a solução perfeita para aplicações de processamento de wafers semicondutores. Com seu grafite revestido com SiC de alta qualidade, este produto foi projetado para suportar o ambiente de deposição mais severo para crescimento epitaxial. A alta condutividade térmica e as excelentes propriedades de distribuição de calor garantem um desempenho confiável para RTA, RTP ou limpeza química agressiva.
consulte Mais informaçãoEnviar consultaO transportador de revestimento de SiC Semicorex RTP/RTA foi projetado para suportar as condições mais difíceis do ambiente de deposição. Com sua alta resistência ao calor e à corrosão, este produto foi projetado para fornecer desempenho ideal para crescimento epitaxial. O suporte revestido de SiC possui alta condutividade térmica e excelentes propriedades de distribuição de calor, garantindo desempenho confiável para RTA, RTP ou limpeza química agressiva.
consulte Mais informaçãoEnviar consultaA placa transportadora Semicorex SiC Graphite RTP para MOCVD oferece resistência ao calor superior e uniformidade térmica, tornando-a a solução perfeita para aplicações de processamento de wafer semicondutor. Com grafite revestido com SiC de alta qualidade, este produto foi projetado para suportar o ambiente de deposição mais severo para crescimento epitaxial. A alta condutividade térmica e as excelentes propriedades de distribuição de calor garantem um desempenho confiável para RTA, RTP ou limpeza química agressiva.
consulte Mais informaçãoEnviar consultaA placa transportadora RTP revestida com SiC Semicorex para crescimento epitaxial é a solução perfeita para aplicações de processamento de wafer semicondutor. Com seus susceptores de grafite de carbono de alta qualidade e cadinhos de quartzo processados por MOCVD na superfície de grafite, cerâmica, etc., este produto é ideal para manuseio de wafers e processamento de crescimento epitaxial. O suporte revestido de SiC garante alta condutividade térmica e excelentes propriedades de distribuição de calor, tornando-o uma escolha confiável para RTA, RTP ou limpeza química agressiva.
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