O transportador Semicorex RTP é revestido com carboneto de silício usando o processo de deposição química de vapor (CVD), que é realmente estável para RTA, RTP ou limpeza química agressiva. No centro do processo semicondutor, os susceptores de epitaxia são primeiro submetidos ao ambiente de deposição, por isso possuem alta resistência ao calor e à corrosão. O suporte revestido de SiC também possui alta condutividade térmica e excelentes propriedades de distribuição de calor.
● Grafite revestida com SiC de alta pureza
● Resistência superior ao calor e resistência química
● Alta uniformidade térmica
● Excelente resistência ao desgaste