O suporte Semicorex RTP é revestido de carboneto de silício usando o processo de deposição química de vapor (CVD), que é realmente estável para RTA, RTP ou limpeza química severa. No núcleo do processo semicondutor, os susceptores de epitaxia são primeiro submetidos ao ambiente de deposição, por isso apresentam alta resistência ao calor e à corrosão. O suporte revestido de SiC também possui alta condutividade térmica e excelentes propriedades de distribuição de calor.
â Grafite revestido de SiC de alta pureza
Resistência superior ao calor e resistência química
Alta uniformidade térmica
Excelente resistência ao desgaste
A placa transportadora de grafite RTP da Semicorex é a solução perfeita para aplicações de processamento de wafer semicondutor, incluindo crescimento epitaxial e processamento de manuseio de wafer. Nosso produto é projetado para oferecer resistência térmica superior e uniformidade térmica, garantindo que os susceptores de epitaxia sejam submetidos ao ambiente de deposição, com alta resistência ao calor e à corrosão.
consulte Mais informaçãoEnviar consultaO Semicorex RTP SiC Coating Carrier oferece resistência superior ao calor e uniformidade térmica, tornando-o a solução perfeita para aplicações de processamento de wafer semicondutor. Com seu grafite revestido de SiC de alta qualidade, este produto é projetado para suportar o ambiente de deposição mais severo para crescimento epitaxial. A alta condutividade térmica e as excelentes propriedades de distribuição de calor garantem um desempenho confiável para RTA, RTP ou limpeza química agressiva.
consulte Mais informaçãoEnviar consultaO Semicorex RTP/RTA SiC Coating Carrier é projetado para suportar as condições mais difíceis do ambiente de deposição. Com sua alta resistência ao calor e à corrosão, este produto é projetado para fornecer desempenho ideal para crescimento epitaxial. O suporte revestido de SiC possui alta condutividade térmica e excelentes propriedades de distribuição de calor, garantindo um desempenho confiável para RTA, RTP ou limpeza química agressiva.
consulte Mais informaçãoEnviar consultaA placa transportadora RTP de grafite SiC Semicorex para MOCVD oferece resistência térmica superior e uniformidade térmica, tornando-a a solução perfeita para aplicações de processamento de wafer semicondutor. Com um grafite revestido de SiC de alta qualidade, este produto é projetado para suportar o ambiente de deposição mais severo para crescimento epitaxial. A alta condutividade térmica e as excelentes propriedades de distribuição de calor garantem um desempenho confiável para RTA, RTP ou limpeza química agressiva.
consulte Mais informaçãoEnviar consultaA placa transportadora RTP revestida com SiC Semicorex para crescimento epitaxial é a solução perfeita para aplicações de processamento de wafer semicondutor. Com seus susceptores de grafite de carbono de alta qualidade e cadinhos de quartzo processados por MOCVD na superfície de grafite, cerâmica, etc., este produto é ideal para manuseio de wafer e processamento de crescimento epitaxial. O suporte revestido de SiC garante alta condutividade térmica e excelentes propriedades de distribuição de calor, tornando-o uma escolha confiável para RTA, RTP ou limpeza química agressiva.
consulte Mais informaçãoEnviar consultaSemicorex é um fabricante e fornecedor em larga escala de Susceptor de Grafite Revestido de Carbeto de Silício na China. Susceptor de grafite Semicorex projetado especificamente para equipamentos de epitaxia com alta resistência ao calor e à corrosão na China. Nosso transportador revestido de SiC RTP RTA tem uma boa vantagem de preço e cobre muitos dos mercados europeu e americano. Estamos ansiosos para se tornar seu parceiro de longo prazo.
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