As tampas das câmaras são usadas para criar um ambiente limpo, inerte e protegido nas câmaras de deposição, de modo que sejam expostas ao plasma e a altas temperaturas durante os processos de deposição ou corrosão. As tampas das câmaras Semicorex são componentes cerâmicos duráveis revestidos com carboneto de silício usando o método de deposição química de vapor (CVD), ótimos para enfrentar esses ambientes desafiadores.