Sobre nós

A Semicorex Advanced Material Technology Co., Ltd é um fornecedor líder de alta qualidade de produtos de revestimento de SiC de deposição química a vapor (CVD) de alto nível na China. Estamos comprometidos com a pesquisa e desenvolvimento de materiais semicondutores inovadores, particularmente da tecnologia de revestimento SiC e sua aplicação na indústria de semicondutores. Oferecemos uma ampla gama de produtos de alta qualidade, comoSusceptores de grafite revestidos com SiC, carboneto de silício revestido, susceptores de epitaxia UV profunda, Aquecedores de substrato CVD, Portadores de wafer CVD SiC, barcos de wafer, assim comocomponentes semicondutoreseprodutos de cerâmica de carboneto de silício.

O filme fino de SiC usado em epitaxia de chip de LED e substratos de cristal único de silício tem uma fase cúbica com a mesma estrutura de rede cristalina do diamante e perde apenas para o diamante em dureza. O SiC é um material semicondutor de banda larga amplamente reconhecido com imenso potencial para aplicação na indústria eletrônica de semicondutores e possui excelentes propriedades físicas e químicas, como alta condutividade térmica, baixo coeficiente de expansão térmica e resistência a altas temperaturas e resistência à corrosão.

Na produção de dispositivos eletrônicos, os wafers devem passar por várias etapas, entre elas a epitaxia de silício, na qual os wafers são transportados em susceptores de grafite. A qualidade e as propriedades dos susceptores desempenham um papel crucial na qualidade da camada epitaxial do wafer. A base de grafite é um dos principais componentes do equipamento MOCVD e é o suporte e aquecedor do substrato. Seus parâmetros de desempenho termicamente estáveis, como a uniformidade térmica, desempenham um papel decisivo na qualidade do crescimento do material epitaxial e determinam diretamente a uniformidade e a pureza médias.

Na Semicorex, utilizamos CVD para fabricar filmes densos de β-SiC em grafite isostático de alta resistência, que tem maior pureza em comparação com materiais sinterizados de SiC. Nossos produtos, como susceptores de grafite revestidos com SiC, conferem à base de grafite propriedades especiais, tornando a superfície da base de grafite compacta, lisa e não porosa, resistente ao calor superior, uniformidade térmica, resistente à corrosão e resistente à oxidação.

A tecnologia de revestimento de SiC ganhou uso generalizado, particularmente no crescimento de portadores epitaxiais de LED e epitaxia de cristal único de Si. Com o rápido crescimento da indústria de semicondutores, a demanda por tecnologia e produtos de revestimento SiC aumentou significativamente. Nossos produtos de revestimento SiC têm uma ampla gama de aplicações na indústria aeroespacial, fotovoltaica, energia nuclear, ferrovia de alta velocidade, automotiva e outras indústrias.

Aplicação do produto

LED IC epitaxia

Epitaxia de silício de cristal único

Portadores de wafer RTP/TRA

Gravação ICP/PSS

gravação de plasma

SiC epitaxia

Epitaxia de silício monocristalino

Epitaxia de GaN à base de silício

Epitaxia ultravioleta profunda

gravação de semicondutor

indústria fotovoltaica

Sistema CVD Epitaxial SiC

Equipamento de crescimento de filme epitaxial de SiC

reator MOCVD

sistema MOCVD

equipamento CVD

sistemas PECVD

sistemas LPE

Sistemas Aixtron

Sistemas Nuflare

Sistemas TEL CVD

sistemas vecco

sistemas ETI