O anel de foco ou os anéis de borda são projetados para melhorar a uniformidade de gravação ao redor da borda ou do perímetro do wafer.
Os anéis de foco Semicorex são revestidos de carboneto de silício usando deposição de vapor químico (CVD) fornecem resistência superior ao calor, uniformidade térmica uniforme para espessura e resistência consistentes da camada epi e resistência química durável, que são construídos para suportar ambientes extremos em gravação a plasma ou processo de gravação a seco .
Os anéis de foco duráveis Semicorex para processamento de semicondutores são projetados para suportar os ambientes extremos das câmaras de gravação de plasma usadas no processamento de semicondutores. Nossos anéis de foco são feitos de grafite de alta pureza revestido com um revestimento de carboneto de silício (SiC) denso e resistente ao desgaste. O revestimento de SiC possui altas propriedades de resistência à corrosão e ao calor, bem como excelente condutividade térmica. Aplicamos SiC em camadas finas sobre o grafite usando o processo de deposição de vapor químico (CVD) para melhorar a vida útil de nossos anéis de foco.
consulte Mais informaçãoEnviar consultaO anel de foco de processamento de plasma Semicorex foi especialmente projetado para atender às altas demandas de processamento de gravação de plasma na indústria de semicondutores. Nossos componentes revestidos de carboneto de silício avançados e de alta pureza são construídos para suportar ambientes extremos e são adequados para uso em várias aplicações, incluindo camadas de carboneto de silício e semicondutores de epitaxia.
consulte Mais informaçãoEnviar consultaOs anéis de foco de SiC avançados e de alta pureza da Semicorex são construídos para suportar ambientes extremos em câmaras de gravação a plasma (ou gravação a seco). Nós nos concentramos em indústrias de semicondutores, como camadas de carboneto de silício e semicondutores de epitaxia. Nossos produtos têm uma boa vantagem de preço e cobrem muitos dos mercados europeu e americano. Estamos ansiosos para nos tornarmos seu parceiro de longo prazo na China.
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