Susceptor de panqueca, um formato redondo de suporte de wafer usado no processamento de semicondutores.
A epitaxia é uma etapa crucial no processamento de semicondutores que faz crescer a camada epitaxial em wafers semicondutores, nos quais os wafers são transportados nos susceptores de grafite. As qualidades dos susceptores de grafite são características fundamentais para a qualidade dos epi-wafers.
Susceptores de grafite com revestimento de carboneto de silício
A Semicorex fornece susceptores e componentes para todos os reatores de epitaxia, incluindosusceptores de barrile susceptores de panqueca. Usamos grafite de alta pureza e revestimento CVD SiC.
Os susceptores de bolacha revestidos com Semicorex SiC são transportadores de alto desempenho projetados especificamente para deposição de filmes ultrafinos em condições sem pressionada. Com engenharia avançada de materiais, controle de porosidade de precisão e tecnologia robusta de revestimento SIC, o Semicorex oferece confiabilidade e personalização líderes do setor para atender às necessidades em evolução da fabricação de semicondutores de próxima geração.*
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