Susceptor de panqueca, um formato redondo de suporte de wafer usado no processamento de semicondutores.
A epitaxia é uma etapa crucial no processamento de semicondutores que faz crescer a camada epitaxial em wafers semicondutores, nos quais os wafers são transportados nos susceptores de grafite. As qualidades dos susceptores de grafite são características fundamentais para a qualidade dos epi-wafers.
Susceptores de grafite com revestimento de carboneto de silício
A Semicorex fornece susceptores e componentes para todos os reatores de epitaxia, incluindosusceptores de barrile susceptores de panqueca. Usamos grafite de alta pureza e revestimento CVD SiC.