Portador de Revestimento RTP SiC

O Semicorex RTP SiC Coating Carrier oferece resistência superior ao calor e uniformidade térmica, tornando-o a solução perfeita para aplicações de processamento de wafer semicondutor. Com seu grafite revestido de SiC de alta qualidade, este produto é projetado para suportar o ambiente de deposição mais severo para crescimento epitaxial. A alta condutividade térmica e as excelentes propriedades de distribuição de calor garantem um desempenho confiável para RTA, RTP ou limpeza química agressiva.

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Descrição do produto

Nosso transportador de revestimento RTP SiC foi projetado para suportar as condições mais difíceis do ambiente de deposição. Com sua alta resistência ao calor e à corrosão, os susceptores de epitaxia são submetidos ao ambiente de deposição perfeito para o crescimento epitaxial. O fino revestimento de cristal de SiC no suporte garante uma superfície lisa e alta durabilidade contra limpeza química, enquanto o material é projetado para evitar rachaduras e delaminação.
Na Semicorex, nos concentramos em fornecer suporte de revestimento RTP SiC de alta qualidade e econômico, priorizamos a satisfação do cliente e fornecemos soluções econômicas. Estamos ansiosos para nos tornarmos seu parceiro de longo prazo, oferecendo produtos de alta qualidade e atendimento excepcional ao cliente.
Entre em contato conosco hoje para saber mais sobre nosso transportador de revestimento RTP SiC.

Parâmetros do transportador de revestimento RTP SiC

Principais especificações do revestimento CVD-SIC
Propriedades SiC-CVD
Estrutura de cristal	FCC fase β
Densidade	g/cm³	3.21
Dureza	Dureza Vickers	2500
Tamanho de grão	Î¼m	2~10
Pureza Química	%	99.99995
Capacidade de calor	J·kg-1 ·K-1	640
Temperatura de sublimação	℃	2700
Força Felexural	MPa (RT 4 pontos)	415
Módulo de Young	Gpa (dobra de 4pt, 1300â)	430
Expansão Térmica (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Condutividade térmica	(W/mK)	300

Características do transportador de revestimento RTP SiC

Grafite revestido de SiC de alta pureza
Resistência ao calor superior e uniformidade térmica
Cristal de SiC fino revestido para uma superfície lisa
Alta durabilidade contra limpeza química
O material é projetado para que não ocorram rachaduras e delaminação.