Transportador de revestimento RTP SiC

O Semicorex RTP SiC Coating Carrier oferece resistência ao calor superior e uniformidade térmica, tornando-o a solução perfeita para aplicações de processamento de wafers semicondutores. Com seu grafite revestido com SiC de alta qualidade, este produto foi projetado para suportar o ambiente de deposição mais severo para crescimento epitaxial. A alta condutividade térmica e as excelentes propriedades de distribuição de calor garantem um desempenho confiável para RTA, RTP ou limpeza química agressiva.

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Descrição do produto

Nosso RTP SiC Coating Carrier foi projetado para suportar as condições mais difíceis do ambiente de deposição. Com sua alta resistência ao calor e à corrosão, os susceptores de epitaxia estão sujeitos ao ambiente de deposição perfeito para o crescimento epitaxial. O fino revestimento de cristal SiC no suporte garante uma superfície lisa e alta durabilidade contra limpeza química, enquanto o material é projetado para evitar rachaduras e delaminação.
Na Semicorex, nos concentramos em fornecer transportador de revestimento RTP SiC de alta qualidade e econômico, priorizamos a satisfação do cliente e fornecemos soluções econômicas. Esperamos nos tornar seu parceiro de longo prazo, fornecendo produtos de alta qualidade e atendimento ao cliente excepcional.
Contate-nos hoje para saber mais sobre nosso transportador de revestimento RTP SiC.

Parâmetros do transportador de revestimento RTP SiC

Principais especificações do revestimento CVD-SIC
Propriedades SiC-CVD
Estrutura Cristalina	Fase β do FCC
Densidade	g/cm³	3.21
Dureza	Dureza Vickers	2500
Tamanho do grão	μm	2~10
Pureza Química	%	99.99995
Capacidade de calor	J kg-1 K-1	640
Temperatura de Sublimação	℃	2700
Força Felexural	MPa (TR 4 pontos)	415
Módulo de Young	Gpa (curvatura de 4 pontos, 1300°C)	430
Expansão Térmica (CTE)	10-6K-1	4.5
Condutividade térmica	(W/mK)	300

Características do transportador de revestimento RTP SiC

Grafite revestida com SiC de alta pureza
Resistência térmica superior e uniformidade térmica
Cristal fino de SiC revestido para uma superfície lisa
Alta durabilidade contra limpeza química
O material é projetado para que não ocorram rachaduras e delaminação.