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Placa transportadora RTP revestida com SiC para crescimento epitaxial

A placa transportadora RTP revestida com SiC Semicorex para crescimento epitaxial é a solução perfeita para aplicações de processamento de wafer semicondutor. Com seus susceptores de grafite de carbono de alta qualidade e cadinhos de quartzo processados por MOCVD na superfície de grafite, cerâmica, etc., este produto é ideal para manuseio de wafers e processamento de crescimento epitaxial. O suporte revestido de SiC garante alta condutividade térmica e excelentes propriedades de distribuição de calor, tornando-o uma escolha confiável para RTA, RTP ou limpeza química agressiva.

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Descrição do produto

Nossa placa transportadora RTP revestida com SiC para crescimento epitaxial foi projetada para suportar as condições mais difíceis do ambiente de deposição. Com sua alta resistência ao calor e à corrosão, os susceptores de epitaxia estão sujeitos ao ambiente de deposição perfeito para o crescimento epitaxial. O fino revestimento de cristal SiC no suporte garante uma superfície lisa e alta durabilidade contra limpeza química, enquanto o material é projetado para evitar rachaduras e delaminação.
Contate-nos hoje para saber mais sobre nossa placa transportadora RTP revestida com SiC para crescimento epitaxial.

Parâmetros da placa transportadora RTP revestida com SiC para crescimento epitaxial

Principais especificações do revestimento CVD-SIC
Propriedades SiC-CVD
Estrutura Cristalina	Fase β do FCC
Densidade	g/cm³	3.21
Dureza	Dureza Vickers	2500
Tamanho do grão	μm	2~10
Pureza Química	%	99.99995
Capacidade de calor	J kg-1 K-1	640
Temperatura de Sublimação	℃	2700
Força Felexural	MPa (TR 4 pontos)	415
Módulo de Young	Gpa (curvatura de 4 pontos, 1300°C)	430
Expansão Térmica (CTE)	10-6K-1	4.5
Condutividade térmica	(W/mK)	300

Características da placa transportadora RTP revestida com SiC para crescimento epitaxial

Grafite revestida com SiC de alta pureza
Resistência térmica superior e uniformidade térmica
Cristal fino de SiC revestido para uma superfície lisa
Alta durabilidade contra limpeza química
O material é projetado para que não ocorram rachaduras e delaminação.

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