Placa transportadora RTP de grafite SiC para MOCVD

A placa transportadora Semicorex SiC Graphite RTP para MOCVD oferece resistência ao calor superior e uniformidade térmica, tornando-a a solução perfeita para aplicações de processamento de wafer semicondutor. Com grafite revestido com SiC de alta qualidade, este produto foi projetado para suportar o ambiente de deposição mais severo para crescimento epitaxial. A alta condutividade térmica e as excelentes propriedades de distribuição de calor garantem um desempenho confiável para RTA, RTP ou limpeza química agressiva.

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Descrição do produto

Nossa placa transportadora RTP de grafite SiC para MOCVD para crescimento epitaxial MOCVD é a solução perfeita para manuseio de wafer e processamento de crescimento epitaxial. Com superfície lisa e alta durabilidade contra limpeza química, este produto garante desempenho confiável em ambientes agressivos de deposição.
O material de nossa placa transportadora RTP de grafite SiC para MOCVD é projetado para evitar rachaduras e delaminação, enquanto a resistência superior ao calor e a uniformidade térmica garantem desempenho consistente para RTA, RTP ou limpeza química agressiva.
Contate-nos hoje para saber mais sobre nossa placa transportadora SiC Graphite RTP para MOCVD.

Parâmetros da placa transportadora SiC Graphite RTP para MOCVD

Principais especificações do revestimento CVD-SIC
Propriedades SiC-CVD
Estrutura Cristalina	Fase β do FCC
Densidade	g/cm³	3.21
Dureza	Dureza Vickers	2500
Tamanho do grão	μm	2~10
Pureza Química	%	99.99995
Capacidade de calor	J kg-1 K-1	640
Temperatura de sublimação	℃	2700
Força Felexural	MPa (TR 4 pontos)	415
Módulo de Young	Gpa (curvatura de 4 pontos, 1300°C)	430
Expansão Térmica (CTE)	10-6K-1	4.5
Condutividade térmica	(W/mK)	300

Características da placa transportadora SiC Graphite RTP para MOCVD

Grafite revestida com SiC de alta pureza
Resistência térmica superior e uniformidade térmica
Cristal fino de SiC revestido para uma superfície lisa
Alta durabilidade contra limpeza química
O material é projetado para que não ocorram rachaduras e delaminação.