Placa de transporte SiC Grafite RTP para MOCVD

A placa transportadora RTP de grafite SiC Semicorex para MOCVD oferece resistência térmica superior e uniformidade térmica, tornando-a a solução perfeita para aplicações de processamento de wafer semicondutor. Com um grafite revestido de SiC de alta qualidade, este produto é projetado para suportar o ambiente de deposição mais severo para crescimento epitaxial. A alta condutividade térmica e as excelentes propriedades de distribuição de calor garantem um desempenho confiável para RTA, RTP ou limpeza química agressiva.

Enviar consulta

Descrição do produto

Nossa placa de suporte SiC Graphite RTP para MOCVD para MOCVD Epitaxial Growth é a solução perfeita para manuseio de wafer e processamento de crescimento epitaxial. Com superfície lisa e alta durabilidade contra limpeza química, este produto garante desempenho confiável em ambientes de deposição agressivos.
O material da nossa placa de suporte RTP de grafite SiC para MOCVD é projetado para evitar rachaduras e delaminação, enquanto a resistência superior ao calor e a uniformidade térmica garantem um desempenho consistente para RTA, RTP ou limpeza química severa.
Entre em contato conosco hoje para saber mais sobre nossa placa de suporte SiC Grafite RTP para MOCVD.

Parâmetros da placa transportadora RTP de grafite SiC para MOCVD

Principais especificações do revestimento CVD-SIC
Propriedades SiC-CVD
Estrutura de cristal	FCC fase β
Densidade	g/cm³	3.21
Dureza	Dureza Vickers	2500
Tamanho de grão	Î¼m	2~10
Pureza Química	%	99.99995
Capacidade de calor	J·kg-1 ·K-1	640
Temperatura de Sublimação	℃	2700
Força Felexural	MPa (RT 4 pontos)	415
Módulo de Young	Gpa (dobra de 4pt, 1300â)	430
Expansão Térmica (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Condutividade térmica	(W/mK)	300

Características da placa transportadora RTP de grafite SiC para MOCVD

Grafite revestido de SiC de alta pureza
Resistência ao calor superior e uniformidade térmica
Cristal de SiC fino revestido para uma superfície lisa
Alta durabilidade contra limpeza química
O material é projetado para que não ocorram rachaduras e delaminação.