O transportador Semicorex RTP é revestido com carboneto de silício usando o processo de deposição química de vapor (CVD), que é realmente estável para RTA, RTP ou limpeza química agressiva. No centro do processo semicondutor, os susceptores de epitaxia são primeiro submetidos ao ambiente de deposição, por isso possuem alta resistência ao calor e à corrosão. O suporte revestido de SiC também possui alta condutividade térmica e excelentes propriedades de distribuição de calor.
● Grafite revestida com SiC de alta pureza
● Resistência superior ao calor e resistência química
● Alta uniformidade térmica
● Excelente resistência ao desgaste
Semicorex é um fabricante e fornecedor em grande escala de Susceptor de grafite revestido com carboneto de silício na China. Susceptor de grafite Semicorex projetado especificamente para equipamentos de epitaxia com alta resistência ao calor e à corrosão na China. Nosso RTP RTA SiC Coated Carrier tem uma boa vantagem de preço e cobre muitos dos mercados europeus e americanos. Estamos ansiosos para nos tornar seu parceiro de longo prazo.
consulte Mais informaçãoEnviar consultaO Semicorex RTP Carrier for MOCVD Epitaxial Growth é ideal para aplicações de processamento de wafer semicondutor, incluindo crescimento epitaxial e processamento de manuseio de wafer. Susceptores de grafite de carbono e cadinhos de quartzo são processados por MOCVD na superfície de grafite, cerâmica, etc. Nossos produtos têm uma boa vantagem de preço e cobrem muitos dos mercados europeus e americanos. Esperamos nos tornar seu parceiro de longo prazo na China.
consulte Mais informaçãoEnviar consulta