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O grafite com revestimento TaC é criado revestindo a superfície de um substrato de grafite de alta pureza com uma fina camada de carboneto de tântalo por meio de um processo proprietário de Deposição Química de Vapor (CVD).



O carboneto de tântalo (TaC) é um composto que consiste em tântalo e carbono. Possui condutividade elétrica metálica e ponto de fusão excepcionalmente alto, tornando-o um material cerâmico refratário conhecido por sua resistência, dureza e resistência ao calor e ao desgaste. O ponto de fusão dos carbonetos de tântalo atinge o pico em cerca de 3880°C dependendo da pureza e tem um dos pontos de fusão mais altos entre os compostos binários. Isso o torna uma alternativa atraente quando as demandas de temperaturas mais altas excedem as capacidades de desempenho usadas em processos epitaxiais de semicondutores compostos, como MOCVD e LPE.


Dados materiais do revestimento Semicorex TaC

Projetos

Parâmetros

Densidade

14,3 (g/cm³)

Emissividade

0.3

CTE (×10-6/K)

6.3

Dureza (HK)

2000

Resistência (Ohm-cm)

1x10-5

Estabilidade Térmica

<2500℃

Mudança de dimensão de grafite

-10~-20um (valor de referência)

Espessura do revestimento

≥20um valor típico(35um±10um)



Os acima são valores típicos




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Anel guia de revestimento TaC

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Mandril de wafer de revestimento TaC

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Anel guia de revestimento de carboneto de tântalo

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O anel guia de revestimento de carboneto de tântalo Semicorex é um componente avançado projetado especificamente para a indústria de semicondutores, desempenhando um papel crucial no crescimento de cristais de carboneto de silício (SiC). Este produto foi projetado para atender às rigorosas demandas de ambientes de alta temperatura e alto estresse inerentes aos processos de crescimento de cristais semicondutores. A Semicorex está comprometida em fornecer produtos de qualidade a preços competitivos. Esperamos nos tornar seu parceiro de longo prazo na China*.

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