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O grafite com revestimento TaC é criado revestindo a superfície de um substrato de grafite de alta pureza com uma fina camada de carboneto de tântalo por meio de um processo proprietário de Deposição Química de Vapor (CVD).



O carboneto de tântalo (TaC) é um composto que consiste em tântalo e carbono. Possui condutividade elétrica metálica e ponto de fusão excepcionalmente alto, tornando-o um material cerâmico refratário conhecido por sua resistência, dureza e resistência ao calor e ao desgaste. O ponto de fusão dos carbonetos de tântalo atinge o pico em cerca de 3880°C dependendo da pureza e tem um dos pontos de fusão mais altos entre os compostos binários. Isso o torna uma alternativa atraente quando as demandas de temperaturas mais altas excedem as capacidades de desempenho usadas em processos epitaxiais de semicondutores compostos, como MOCVD e LPE.


Dados materiais do revestimento Semicorex TaC

Projetos

Parâmetros

Densidade

14,3 (g/cm³)

Emissividade

0.3

CTE (×10-6/K)

6.3

Dureza (HK)

2000

Resistência (Ohm-cm)

1x10-5

Estabilidade Térmica

<2500℃

Mudança de dimensão de grafite

-10~-20um (valor de referência)

Espessura do revestimento

≥20um valor típico(35um±10um)



Os acima são valores típicos




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Susceptor revestido de TaC

Susceptor revestido de TaC

O Susceptor Revestido Semicorex TaC (Susceptor Revestido com Carboneto de Tântalo) é um componente altamente especializado usado na fabricação de semicondutores e outras aplicações de alta temperatura. A Semicorex está comprometida em fornecer produtos de qualidade a preços competitivos. Esperamos nos tornar seu parceiro de longo prazo na China.

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Mandril de revestimento de carboneto de tântalo

Mandril de revestimento de carboneto de tântalo

O mandril de revestimento de carboneto de tântalo Semicorex é um componente projetado com precisão para uso em ambientes de alta temperatura e alto estresse. A Semicorex está comprometida em fornecer produtos de qualidade a preços competitivos. Esperamos nos tornar seu parceiro de longo prazo na China.

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Anel de revestimento CVD TaC

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O anel de revestimento Semicorex CVD TaC é um componente de alto desempenho projetado para aplicações exigentes que exigem excepcional resistência ao desgaste, estabilidade térmica e inércia química. A Semicorex está comprometida em fornecer produtos de qualidade a preços competitivos. Esperamos nos tornar seu parceiro de longo prazo na China.

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Placa Planetária com Revestimento TaC

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A placa planetária com revestimento Semicorex TaC é um componente de alto desempenho projetado especificamente para sistemas MOCVD. A Semicorex está comprometida em fornecer produtos de qualidade a preços competitivos. Esperamos nos tornar seu parceiro de longo prazo na China.

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Meia Lua Superior com Revestimento TaC

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Semicorex TaC Coating Upper Halfmoon é um componente especializado projetado para processos epitaxiais de alto desempenho na fabricação de semicondutores. A Semicorex está comprometida em fornecer produtos de qualidade a preços competitivos. Esperamos nos tornar seu parceiro de longo prazo na China.

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Peça de meia lua com revestimento de carboneto de tântalo

Peça de meia lua com revestimento de carboneto de tântalo

A peça Halfmoon com revestimento de carboneto de tântalo Semicorex é um componente altamente especializado projetado para uso no processo de deposição epitaxial. A Semicorex está comprometida em fornecer produtos de qualidade a preços competitivos. Esperamos nos tornar seu parceiro de longo prazo na China.

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