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O grafite com revestimento TaC é criado revestindo a superfície de um substrato de grafite de alta pureza com uma fina camada de carboneto de tântalo por meio de um processo proprietário de Deposição Química de Vapor (CVD).



O carboneto de tântalo (TaC) é um composto que consiste em tântalo e carbono. Possui condutividade elétrica metálica e ponto de fusão excepcionalmente alto, tornando-o um material cerâmico refratário conhecido por sua resistência, dureza e resistência ao calor e ao desgaste. O ponto de fusão dos carbonetos de tântalo atinge o pico em cerca de 3880°C dependendo da pureza e tem um dos pontos de fusão mais altos entre os compostos binários. Isso o torna uma alternativa atraente quando as demandas de temperaturas mais altas excedem as capacidades de desempenho usadas em processos epitaxiais de semicondutores compostos, como MOCVD e LPE.


Dados materiais do revestimento Semicorex TaC

Projetos

Parâmetros

Densidade

14,3 (g/cm³)

Emissividade

0.3

CTE (×10-6/K)

6.3

Dureza (HK)

2000

Resistência (Ohm-cm)

1x10-5

Estabilidade Térmica

<2500℃

Mudança de dimensão de grafite

-10~-20um (valor de referência)

Espessura do revestimento

≥20um valor típico(35um±10um)



Os acima são valores típicos




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Meia Lua Superior com Revestimento TaC

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Semicorex TaC Coating Upper Halfmoon é um componente especializado projetado para processos epitaxiais de alto desempenho na fabricação de semicondutores. A Semicorex está comprometida em fornecer produtos de qualidade a preços competitivos. Esperamos nos tornar seu parceiro de longo prazo na China.

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Peça de meia lua com revestimento de carboneto de tântalo

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A peça Halfmoon com revestimento de carboneto de tântalo Semicorex é um componente altamente especializado projetado para uso no processo de deposição epitaxial. A Semicorex está comprometida em fornecer produtos de qualidade a preços competitivos. Esperamos nos tornar seu parceiro de longo prazo na China.

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Revestimento TaC Meia-lua

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Semicorex TaC Coating Half-moon é um componente especializado fabricado a partir de grafite revestido com carboneto de tântalo (TaC), projetado para uso em processos epitaxiais. A Semicorex está comprometida em fornecer produtos de qualidade a preços competitivos. Esperamos nos tornar seu parceiro de longo prazo na China.

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Mandril de revestimento TaC

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Semicorex TaC Coating Chuck, o mandril a vácuo de última geração equipado com revestimentos TaC, projetado especificamente para fornos de semicondutores. A Semicorex está comprometida em fornecer produtos de qualidade a preços competitivos. Esperamos nos tornar seu parceiro de longo prazo na China.

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Placa Epitaxial com Revestimento TaC

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Você pode ter a certeza de comprar placa epitaxial com revestimento TaC de nossa fábrica. A placa epitaxial com revestimento Semicorex TaC (Carbeto de Tântalo) possui excepcional resistência ao calor, tornando-a ideal para aplicações sujeitas a altas temperaturas. A sua notável capacidade de suportar o calor garante durabilidade e fiabilidade em ambientes exigentes. A Semicorex está comprometida em fornecer produtos de qualidade a preços competitivos. Esperamos nos tornar seu parceiro de longo prazo na China.

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Placa revestida TaC

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A placa revestida Semicorex TaC é um disco especializado projetado para uso em processos epitaxiais de SiC, fabricado com precisão a partir de material de grafite de alta qualidade. Sua superfície é meticulosamente revestida com carboneto de tântalo (TaC), um composto conhecido por sua excepcional pureza e resistência. A Semicorex está comprometida em fornecer produtos de qualidade a preços competitivos. Esperamos nos tornar seu parceiro de longo prazo na China.

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