China Revestimento TaC Fabricantes, Fornecedores, Fábrica

O grafite com revestimento TaC é criado revestindo a superfície de um substrato de grafite de alta pureza com uma fina camada de carboneto de tântalo por meio de um processo proprietário de Deposição Química de Vapor (CVD).

O carboneto de tântalo (TaC) é um composto que consiste em tântalo e carbono. Possui condutividade elétrica metálica e ponto de fusão excepcionalmente alto, tornando-o um material cerâmico refratário conhecido por sua resistência, dureza e resistência ao calor e ao desgaste. O ponto de fusão dos carbonetos de tântalo atinge o pico em cerca de 3880°C dependendo da pureza e tem um dos pontos de fusão mais altos entre os compostos binários. Isso o torna uma alternativa atraente quando as demandas de temperaturas mais altas excedem as capacidades de desempenho usadas em processos epitaxiais de semicondutores compostos, como MOCVD e LPE.

Dados materiais do revestimento Semicorex TaC

Projetos	Parâmetros
Densidade	14,3 (g/cm³)
Emissividade	0.3
CTE (×10^-6/K)	6.3
Dureza (HK)	2000
Resistência (Ohm-cm)	1x10^-5
Estabilidade Térmica	<2500℃
Mudança de dimensão de grafite	-10~-20um (valor de referência)
Espessura do revestimento	≥20um valor típico(35um±10um)

Os acima são valores típicos

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Cadinho revestido com TaC

Apresentamos o cadinho revestido CVD Tac, a solução perfeita para fabricantes e usuários de equipamentos semicondutores que exigem o mais alto nível de qualidade e desempenho. Nossos cadinhos são revestidos com uma camada CVD Tac (carboneto de tântalo) de última geração, que oferece resistência superior à corrosão e ao desgaste, tornando-os ideais para uso em uma variedade de aplicações de semicondutores.

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