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O grafite com revestimento TaC é criado revestindo a superfície de um substrato de grafite de alta pureza com uma fina camada de carboneto de tântalo por meio de um processo proprietário de Deposição Química de Vapor (CVD).



O carboneto de tântalo (TaC) é um composto que consiste em tântalo e carbono. Possui condutividade elétrica metálica e ponto de fusão excepcionalmente alto, tornando-o um material cerâmico refratário conhecido por sua resistência, dureza e resistência ao calor e ao desgaste. O ponto de fusão dos carbonetos de tântalo atinge o pico em cerca de 3880°C dependendo da pureza e tem um dos pontos de fusão mais altos entre os compostos binários. Isso o torna uma alternativa atraente quando as demandas de temperaturas mais altas excedem as capacidades de desempenho usadas em processos epitaxiais de semicondutores compostos, como MOCVD e LPE.


Dados materiais do revestimento Semicorex TaC

Projetos

Parâmetros

Densidade

14,3 (g/cm³)

Emissividade

0.3

CTE (×10-6/K)

6.3

Dureza (HK)

2000

Resistência (Ohm-cm)

1x10-5

Estabilidade Térmica

<2500℃

Mudança de dimensão de grafite

-10~-20um (valor de referência)

Espessura do revestimento

≥20um valor típico(35um±10um)



Os acima são valores típicos




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Revestimento TaC Meia-lua

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Semicorex TaC Coating Half-moon é um componente especializado fabricado a partir de grafite revestido com carboneto de tântalo (TaC), projetado para uso em processos epitaxiais. A Semicorex está comprometida em fornecer produtos de qualidade a preços competitivos. Esperamos nos tornar seu parceiro de longo prazo na China.

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Mandril de revestimento TaC

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Semicorex TaC Coating Chuck, o mandril a vácuo de última geração equipado com revestimentos TaC, projetado especificamente para fornos de semicondutores. A Semicorex está comprometida em fornecer produtos de qualidade a preços competitivos. Esperamos nos tornar seu parceiro de longo prazo na China.

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Placa Epitaxial com Revestimento TaC

Placa Epitaxial com Revestimento TaC

Você pode ter a certeza de comprar placa epitaxial com revestimento TaC de nossa fábrica. A placa epitaxial com revestimento Semicorex TaC (Carbeto de Tântalo) possui excepcional resistência ao calor, tornando-a ideal para aplicações sujeitas a altas temperaturas. A sua notável capacidade de suportar o calor garante durabilidade e fiabilidade em ambientes exigentes. A Semicorex está comprometida em fornecer produtos de qualidade a preços competitivos. Esperamos nos tornar seu parceiro de longo prazo na China.

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Placa revestida TaC

Placa revestida TaC

A placa revestida Semicorex TaC é um disco especializado projetado para uso em processos epitaxiais de SiC, fabricado com precisão a partir de material de grafite de alta qualidade. Sua superfície é meticulosamente revestida com carboneto de tântalo (TaC), um composto conhecido por sua excepcional pureza e resistência. A Semicorex está comprometida em fornecer produtos de qualidade a preços competitivos. Esperamos nos tornar seu parceiro de longo prazo na China.

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Gabarito de revestimento TaC

Gabarito de revestimento TaC

O Semicorex TaC Coating Jig é um componente essencial no processo de fabricação de semicondutores, fabricado meticulosamente a partir de grafite e fortificado com uma camada resiliente de revestimento de carboneto de tântalo. Este elemento crucial do equipamento incorpora uma fusão de ciência de materiais de ponta e engenharia de precisão, projetado para atender a demandas operacionais rigorosas e padrões exigentes predominantes na fabricação de semicondutores. A Semicorex está comprometida em fornecer produtos de qualidade a preços competitivos. Esperamos nos tornar seu parceiro de longo prazo na China.

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Susceptor de revestimento TaC

Susceptor de revestimento TaC

O susceptor de revestimento Semicorex TaC representa o auge da engenharia de materiais, meticulosamente fabricado com grafite de alta qualidade e fortificado com um revestimento de carboneto de tântalo. Projetado principalmente para uso no crescimento de cristais de SiC e nos processos epitaxiais de SiC, este componente inovador se destaca como um farol de durabilidade e desempenho em ambientes térmicos e químicos extremos. A Semicorex está comprometida em fornecer produtos de qualidade a preços competitivos. Esperamos nos tornar seu parceiro de longo prazo na China.

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A Semicorex produz Revestimento TaC há muitos anos e é um dos fabricantes e fornecedores profissionais de Revestimento TaC na China. Depois de comprar nossos produtos avançados e duráveis ​​que fornecem embalagem a granel, garantimos a grande quantidade em entrega rápida. Ao longo dos anos, fornecemos aos clientes um serviço personalizado. Os clientes estão satisfeitos com nossos produtos e excelente serviço. Esperamos sinceramente tornar-se seu parceiro comercial confiável de longo prazo! Bem-vindo ao comprar produtos de nossa fábrica.
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