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O grafite com revestimento TaC é criado revestindo a superfície de um substrato de grafite de alta pureza com uma fina camada de carboneto de tântalo por meio de um processo proprietário de Deposição Química de Vapor (CVD).



O carboneto de tântalo (TaC) é um composto que consiste em tântalo e carbono. Possui condutividade elétrica metálica e ponto de fusão excepcionalmente alto, tornando-o um material cerâmico refratário conhecido por sua resistência, dureza e resistência ao calor e ao desgaste. O ponto de fusão dos carbonetos de tântalo atinge o pico em cerca de 3880°C dependendo da pureza e tem um dos pontos de fusão mais altos entre os compostos binários. Isso o torna uma alternativa atraente quando as demandas de temperaturas mais altas excedem as capacidades de desempenho usadas em processos epitaxiais de semicondutores compostos, como MOCVD e LPE.


Dados materiais do revestimento Semicorex TaC

Projetos

Parâmetros

Densidade

14,3 (g/cm³)

Emissividade

0.3

CTE (×10-6/K)

6.3

Dureza (HK)

2000

Resistência (Ohm-cm)

1x10-5

Estabilidade Térmica

<2500℃

Mudança de dimensão de grafite

-10~-20um (valor de referência)

Espessura do revestimento

≥20um valor típico(35um±10um)



Os acima são valores típicos




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Susceptor MOCVD com revestimento TaC

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O susceptor Semicorex MOCVD com revestimento TaC é um componente de última geração meticulosamente elaborado para desempenho ideal em processos de epitaxia de semicondutores em sistemas MOCVD. A Semicorex é inabalável em nosso compromisso de fornecer produtos superiores a preços altamente competitivos. Estamos ansiosos para estabelecer uma parceria duradoura com você na China.*

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Anel revestido CVD TaC

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O anel revestido Semicorex CVD TaC reina como um componente crítico no processamento de semicondutores, simbolizando o apogeu da moderna engenharia de materiais. Criado para implementação nos ambientes mais rigorosos, onde a precisão e a confiabilidade reinam supremas, este anel incorpora a fusão de técnicas de revestimento de ponta com ciência de materiais resilientes. A Semicorex fornece produtos de primeira linha com firmeza a preços competitivos e esperamos ansiosamente estabelecer uma parceria de longa data com você na China.*

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Susceptor Planetário Revestido com TaC

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O susceptor planetário revestido Semicorex TaC é um componente altamente especializado projetado para uso em processos epitaxiais de fabricação de semicondutores. A Semicorex se dedica a fornecer produtos de alta qualidade a preços competitivos. Estamos ansiosos para estabelecer uma parceria de longo prazo com você na China.*

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Anel guia de revestimento de carboneto de tântalo

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O anel guia de revestimento de carboneto de tântalo Semicorex é um componente avançado projetado especificamente para a indústria de semicondutores, desempenhando um papel crucial no crescimento de cristais de carboneto de silício (SiC). Este produto foi projetado para atender às rigorosas demandas de ambientes de alta temperatura e alto estresse inerentes aos processos de crescimento de cristais semicondutores. A Semicorex está comprometida em fornecer produtos de qualidade a preços competitivos. Esperamos nos tornar seu parceiro de longo prazo na China*.

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Cadinho de grafite com revestimento de carboneto de tântalo

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O cadinho de grafite com revestimento de carboneto de tântalo Semicorex é um componente especializado projetado para uso na indústria de semicondutores, particularmente no crescimento de cristais de carboneto de silício (SiC). Este cadinho de alto desempenho se destaca por sua composição de material e design estrutural únicos, tornando-o uma ferramenta indispensável em processos avançados de crescimento de cristais. A Semicorex está comprometida em fornecer produtos de qualidade a preços competitivos. Esperamos nos tornar seu parceiro de longo prazo na China*.

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Cadinho de carboneto de tântalo

Cadinho de carboneto de tântalo

O cadinho de carboneto de tântalo Semicorex é um componente crucial na indústria de semicondutores, projetado especificamente para o crescimento de cristais de carboneto de silício (SiC). A Semicorex está comprometida em fornecer produtos de qualidade a preços competitivos. Esperamos nos tornar seu parceiro de longo prazo na China*.

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