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O grafite com revestimento TaC é criado revestindo a superfície de um substrato de grafite de alta pureza com uma fina camada de carboneto de tântalo por meio de um processo proprietário de Deposição Química de Vapor (CVD).



O carboneto de tântalo (TaC) é um composto que consiste em tântalo e carbono. Possui condutividade elétrica metálica e ponto de fusão excepcionalmente alto, tornando-o um material cerâmico refratário conhecido por sua resistência, dureza e resistência ao calor e ao desgaste. O ponto de fusão dos carbonetos de tântalo atinge o pico em cerca de 3880°C dependendo da pureza e tem um dos pontos de fusão mais altos entre os compostos binários. Isso o torna uma alternativa atraente quando as demandas de temperaturas mais altas excedem as capacidades de desempenho usadas em processos epitaxiais de semicondutores compostos, como MOCVD e LPE.


Dados materiais do revestimento Semicorex TaC

Projetos

Parâmetros

Densidade

14,3 (g/cm³)

Emissividade

0.3

CTE (×10-6/K)

6.3

Dureza (HK)

2000

Resistência (Ohm-cm)

1x10-5

Estabilidade Térmica

<2500℃

Mudança de dimensão de grafite

-10~-20um (valor de referência)

Espessura do revestimento

≥20um valor típico(35um±10um)



Os acima são valores típicos




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Anéis guia de revestimento TaC

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Os anéis guia de revestimento TaC são anéis de grafite com revestimento de carboneto de tântalo, projetados para uso em fornos de crescimento de cristal de carboneto de silício para melhorar a qualidade do cristal. Escolha Semicorex por sua avançada tecnologia de revestimento, garantindo durabilidade superior, estabilidade térmica e desempenho otimizado de crescimento de cristal.*

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Anel guia de carboneto de tântalo

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O anel guia de carboneto de tântalo Semicorex é um anel de grafite revestido com carboneto de tântalo, usado em fornos de crescimento de cristal de carboneto de silício para suporte de cristal semente, otimização de temperatura e maior estabilidade de crescimento. Escolha a Semicorex por seus materiais e design avançados, que melhoram significativamente a eficiência e a qualidade do crescimento do cristal.*

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Anel de carboneto de tântalo

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O anel de carboneto de tântalo Semicorex é um anel de grafite revestido com carboneto de tântalo, usado como anel guia em fornos de crescimento de cristal de carboneto de silício para garantir controle preciso de temperatura e fluxo de gás. Escolha a Semicorex por sua avançada tecnologia de revestimento e materiais de alta qualidade, fornecendo componentes duráveis ​​e confiáveis ​​que melhoram a eficiência do crescimento de cristais e a vida útil do produto.*

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