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O grafite de revestimento TaC é criado revestindo a superfície de um substrato de grafite de alta pureza com uma fina camada de carboneto de tântalo por um processo proprietário de Deposição Química de Vapor (CVD).



O carboneto de tântalo (TaC) é um composto que consiste em tântalo e carbono. Possui condutividade elétrica metálica e um ponto de fusão excepcionalmente alto, tornando-o um material cerâmico refratário conhecido por sua força, dureza e resistência ao calor e ao desgaste. O ponto de fusão dos carbonetos de tântalo atinge o pico em cerca de 3880°C dependendo da pureza e tem um dos pontos de fusão mais altos entre os compostos binários. Isso o torna uma alternativa atraente quando as demandas de temperatura mais altas excedem as capacidades de desempenho usadas em processos epitaxiais de semicondutores compostos, como MOCVD e LPE.


Dados de material do Revestimento Semicorex TaC

Projetos

Parâmetros

Densidade

14,3 (gm/cm³)

Emissividade

0.3

CET (×10-6/K)

6.3

Dureza (HK)

2000

Resistência (Ohm-cm)

1×10-5

Estabilidade térmica

<2500â

Mudança de dimensão de grafite

-10~-20um (valor de referência)

Espessura do revestimento

¥¥20um valor típico (35um±10um)



Os acima são valores típicos




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Receptor de grafite revestido TaC

Receptor de grafite revestido TaC

Susceptor de grafite revestido com TaC de última geração da Semicorex, um componente revolucionário projetado para elevar seu processo epitaxial de wafer a novos patamares de eficiência e precisão. Criado com experiência incomparável e utilizando tecnologia de ponta, o susceptor de grafite revestido Semicorex TaC foi projetado para atender às demandas exatas da fabricação de semicondutores.

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Peças de grafite revestidas com carboneto de tântalo

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A Semicorex fornece peças de grafite revestidas com carboneto de tântalo de alta qualidade com serviço personalizado. A Semicorex está comprometida em fornecer produtos de qualidade a preços competitivos. Esperamos nos tornar seu parceiro de longo prazo na China.

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Receptor de grafite revestido com carboneto de tântalo

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Grafite porosa revestida com TaC

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Grafite porosa revestida Semicorex TaC, é um material avançado de alta pureza no processamento de semicondutores. Este equipamento crucial desempenha um papel fundamental no processo de crescimento do SiC de cristal único. A Semicorex está comprometida em fornecer produtos de qualidade a preços competitivos. Esperamos nos tornar seu parceiro de longo prazo na China.

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Anéis revestidos com TaC

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Como manufatura profissional, gostaríamos de fornecer a você anéis revestidos com TaC. Apresentando o CVD Tac Coated Ring, uma solução de última geração para equipamentos semicondutores. Este produto de ponta possui um revestimento avançado de deposição de vapor químico (CVD) que oferece excepcional durabilidade e resistência ao desgaste.

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Cadinho Revestido com TaC

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Apresentamos o cadinho revestido CVD Tac, a solução perfeita para fabricantes e usuários de equipamentos de semicondutores que exigem o mais alto nível de qualidade e desempenho. Nossos cadinhos são revestidos com uma camada avançada de CVD Tac (carboneto de tântalo), que oferece resistência superior à corrosão e ao desgaste, tornando-os ideais para uso em uma variedade de aplicações de semicondutores.

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