O grafite de revestimento TaC é criado revestindo a superfície de um substrato de grafite de alta pureza com uma fina camada de carboneto de tântalo por um processo proprietário de Deposição Química de Vapor (CVD).
O carboneto de tântalo (TaC) é um composto que consiste em tântalo e carbono. Possui condutividade elétrica metálica e um ponto de fusão excepcionalmente alto, tornando-o um material cerâmico refratário conhecido por sua força, dureza e resistência ao calor e ao desgaste. O ponto de fusão dos carbonetos de tântalo atinge o pico em cerca de 3880°C dependendo da pureza e tem um dos pontos de fusão mais altos entre os compostos binários. Isso o torna uma alternativa atraente quando as demandas de temperatura mais altas excedem as capacidades de desempenho usadas em processos epitaxiais de semicondutores compostos, como MOCVD e LPE.
Dados de material do Revestimento Semicorex TaC
Projetos |
Parâmetros |
Densidade |
14,3 (gm/cm³) |
Emissividade |
0.3 |
CET (×10-6/K) |
6.3 |
Dureza (HK) |
2000 |
Resistência (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Estabilidade térmica |
<2500â |
Mudança de dimensão de grafite |
-10~-20um (valor de referência) |
Espessura do revestimento |
¥¥20um valor típico (35um±10um) |
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Os acima são valores típicos |
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