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O grafite de revestimento TaC é criado revestindo a superfície de um substrato de grafite de alta pureza com uma fina camada de carboneto de tântalo por um processo proprietário de Deposição Química de Vapor (CVD).



O carboneto de tântalo (TaC) é um composto que consiste em tântalo e carbono. Possui condutividade elétrica metálica e um ponto de fusão excepcionalmente alto, tornando-o um material cerâmico refratário conhecido por sua força, dureza e resistência ao calor e ao desgaste. O ponto de fusão dos carbonetos de tântalo atinge o pico em cerca de 3880°C dependendo da pureza e tem um dos pontos de fusão mais altos entre os compostos binários. Isso o torna uma alternativa atraente quando as demandas de temperatura mais altas excedem as capacidades de desempenho usadas em processos epitaxiais de semicondutores compostos, como MOCVD e LPE.


Dados de material do Revestimento Semicorex TaC

Projetos

Parâmetros

Densidade

14,3 (gm/cm³)

Emissividade

0.3

CET (×10-6/K)

6.3

Dureza (HK)

2000

Resistência (Ohm-cm)

1×10-5

Estabilidade térmica

<2500â

Mudança de dimensão de grafite

-10~-20um (valor de referência)

Espessura do revestimento

¥¥20um valor típico (35um±10um)



Os acima são valores típicos




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Peças de grafite revestidas com TaC

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Cobertura de grafite com revestimento TaC

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Anel de revestimento TaC

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Receptor de wafer revestido com TaC

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O susceptor de wafer revestido Semicorex TaC é um componente crucial usado em fornos de deposição de vapor químico metal-orgânico (MOCVD) para processamento epitaxial de semicondutores (epi). A Semicorex está comprometida em fornecer produtos de qualidade a preços competitivos. Esperamos nos tornar seu parceiro de longo prazo na China.

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Placa revestida de carboneto de tântalo TaC

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Anel Guia Revestido TaC

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Anel guia revestido Semicorex TaC, um ápice da inovação em fornos de crescimento de cristal único de SiC (carboneto de silício). Meticulosamente projetado para atender às demandas exigentes da indústria de semicondutores, este anel guia promete redefinir seus processos de crescimento de cristal com precisão e confiabilidade incomparáveis.

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