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O grafite com revestimento TaC é criado revestindo a superfície de um substrato de grafite de alta pureza com uma fina camada de carboneto de tântalo por meio de um processo proprietário de Deposição Química de Vapor (CVD).



O carboneto de tântalo (TaC) é um composto que consiste em tântalo e carbono. Possui condutividade elétrica metálica e ponto de fusão excepcionalmente alto, tornando-o um material cerâmico refratário conhecido por sua resistência, dureza e resistência ao calor e ao desgaste. O ponto de fusão dos carbonetos de tântalo atinge o pico em cerca de 3880°C dependendo da pureza e tem um dos pontos de fusão mais altos entre os compostos binários. Isso o torna uma alternativa atraente quando as demandas de temperaturas mais altas excedem as capacidades de desempenho usadas em processos epitaxiais de semicondutores compostos, como MOCVD e LPE.


Dados materiais do revestimento Semicorex TaC

Projetos

Parâmetros

Densidade

14,3 (g/cm³)

Emissividade

0.3

CTE (×10-6/K)

6.3

Dureza (HK)

2000

Resistência (Ohm-cm)

1x10-5

Estabilidade Térmica

<2500℃

Mudança de dimensão de grafite

-10~-20um (valor de referência)

Espessura do revestimento

≥20um valor típico(35um±10um)



Os acima são valores típicos




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Mandril de grafite revestido com TaC

Mandril de grafite revestido com TaC

O mandril de grafite revestido Semicorex TaC é um componente de alto desempenho projetado para manuseio preciso de wafers e processos de alta temperatura na fabricação de semicondutores. Escolha a Semicorex por seus produtos inovadores e duráveis ​​que garantem ótimo desempenho e longevidade em aplicações exigentes de semicondutores.*

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Anel TaC

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Peça de carboneto de tântalo

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A peça de carboneto de tântalo Semicorex é um componente de grafite revestido com TaC projetado para uso de alto desempenho em aplicações de crescimento de cristal de carboneto de silício (SiC), oferecendo excelente temperatura e resistência química. Escolha a Semicorex para obter componentes confiáveis ​​e de alta qualidade que melhoram a qualidade do cristal e a eficiência da produção na fabricação de semicondutores.*

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Anéis de carboneto de tântalo

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Os anéis de carboneto de tântalo Semicorex são componentes críticos usados ​​em processos avançados de fabricação de semicondutores. Conhecidos por sua excepcional dureza, alto ponto de fusão e inércia química, na Semicorex nos dedicamos a fornecer produtos que atendam aos mais altos padrões de qualidade e desempenho, garantindo que nossos clientes permaneçam na vanguarda da inovação na indústria de semicondutores.*

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Susceptor de wafer de revestimento TaC

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O susceptor de wafer de revestimento Semicorex TaC é uma bandeja de grafite revestida com carboneto de tântalo, usada no crescimento epitaxial de carboneto de silício para melhorar a qualidade e o desempenho do wafer. Escolha a Semicorex por sua tecnologia de revestimento avançada e soluções duráveis ​​que garantem resultados superiores de epitaxia de SiC e vida útil prolongada do susceptor.*

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Anéis guia de revestimento TaC

Anéis guia de revestimento TaC

Os anéis guia de revestimento TaC são anéis de grafite com revestimento de carboneto de tântalo, projetados para uso em fornos de crescimento de cristal de carboneto de silício para melhorar a qualidade do cristal. Escolha Semicorex por sua avançada tecnologia de revestimento, garantindo durabilidade superior, estabilidade térmica e desempenho otimizado de crescimento de cristal.*

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