Suporte de cristal de semente revestido com TaC

O substrato deRevestido com TaCo suporte de cristal de semente é geralmente feito de grafite, carboneto de silício ou materiais compósitos de carbono/carbono e, em seguida, uma camada de revestimento TaC é aplicada à sua superfície por meio de tecnologia avançada de deposição de vapor químico (CVD) em temperatura ultra-alta. O porta-cristalino revestido com TaC fabricado por este método possui excelente resistência à corrosão, super resistência mecânica, boa resistência a altas temperaturas e condutividade térmica eficiente.

A função do suporte de cristal de semente revestido com TaC

1. Função de suporte

O suporte de cristal semente revestido com TaC da Semicorex fornece uma plataforma de suporte estável para cristais semente, garantindo que o cristal semente mantenha uma posição fixa sob condições desafiadoras, como alta temperatura e alto vácuo. Isso evita efetivamente problemas como deslocamento do cristal ou danos causados ​​por vibração e fluxo de ar e, assim, garante a continuidade e estabilidade do crescimento do cristal.

2. Efeito protetor

O suporte de cristal de semente revestido com TaC é instalado acima da tampa do cadinho de grafite e isola a tampa de grafite do vapor de Si em alta temperatura. Isso evita efetivamente a corrosão induzida por vapor e prolonga a vida útil da tampa de grafite. Além disso, a estabilidade química inerente e a resistência às temperaturas térmicas do revestimento TaC também ajudam a diminuir a introdução de impurezas, proporcionando um ambiente estável e limpo para o crescimento de cristais de sementes.

3. Controle de temperatura

O suporte de cristal de semente revestido com TaC Semicorex utiliza técnicas de fabricação que estão na vanguarda da indústria. O controle preciso da temperatura do campo térmico pode ser alcançado otimizando habilmente sua forma, dimensões e espessura do revestimento. Isto reduz consideravelmente a taxa de defeitos e promove eficientemente o crescimento uniforme de cristais.