Apresentamos o cadinho revestido CVD Tac, a solução perfeita para fabricantes e usuários de equipamentos semicondutores que exigem o mais alto nível de qualidade e desempenho. Nossos cadinhos são revestidos com uma camada CVD Tac (carboneto de tântalo) de última geração, que oferece resistência superior à corrosão e ao desgaste, tornando-os ideais para uso em uma variedade de aplicações de semicondutores.
Fabricados com materiais de alta qualidade e revestidos com a mais avançada tecnologia CVD Tac, nossos cadinhos oferecem desempenho e longevidade excepcionais. O revestimento CVD Tac fornece uma camada densa e altamente uniforme que é altamente resistente a ataques químicos, abrasão e choque térmico. Isto garante que nossos cadinhos mantenham sua forma e dimensões mesmo após uso repetido, reduzindo a necessidade de substituições frequentes.
Nossos cadinhos revestidos com CVD Tac também são altamente compatíveis com uma ampla gama de processos de semicondutores, incluindo deposição química de vapor (CVD), deposição física de vapor (PVD) e deposição de camada atômica (ALD). Esteja você produzindo microchips, células solares ou outros dispositivos semicondutores, nossos cadinhos podem ajudá-lo a obter resultados ideais.
Parâmetros do revestimento TaC
Projetos |
Parâmetros |
Densidade |
14,3 (g/cm³) |
Emissividade |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Dureza (HK) |
2000 |
Resistência (Ohm-cm) |
1x10-5 |
Estabilidade Térmica |
<2500℃ |
Mudança de dimensão de grafite |
-10~-20um (valor de referência) |
Espessura do revestimento |
≥20um valor típico(35um±10um) |
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Os acima são valores típicos |
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Os recursos e benefícios de nossos cadinhos revestidos com CVD Tac incluem:
Materiais de alta pureza para redução de contaminação e aumento de rendimento
Excelente condutividade térmica para aquecimento e resfriamento uniformes
Resistência excepcional ao choque térmico para maior durabilidade
Ampla variedade de tamanhos e formatos disponíveis para atender às suas necessidades específicas
Opções de personalização disponíveis mediante solicitação