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Carboneto de tântalo poroso cerâmico

Carboneto de tântalo poroso cerâmico

A cerâmica porosa de carboneto de tântalo Semicorex é uma cerâmica porosa de alto desempenho projetada especificamente no processo de transporte físico de vapor (PVT). Sua estrutura porosa especial e excelentes propriedades desempenham um papel importante na facilitação do crescimento de cristais de carboneto de silício de alta qualidade. Ao escolher a Semicorex, você obterá soluções cerâmicas porosas ideais com qualidade consistente e desempenho estável para fabricação avançada de semicondutores.

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Descrição do produto

A cerâmica porosa de carboneto de tântalo Semicorex é um material cerâmico de temperatura ultra-alta com um ponto de fusão em torno de 3880 ℃, que pode manter um desempenho estável em ambientes operacionais desafiadores de alta temperatura e alta corrosão, graças às seguintes excelentes características de desempenho.


1. Excelente propriedade térmica

A temperatura máxima de trabalho do Semicorex porosocerâmica de carboneto de tântalopode ser de até 3.200 ℃ e pode operar de forma estável em condições de crescimento de cristal de carboneto de silício de alta temperatura por um longo tempo sem qualquer deformação ou amolecimento.


2. Estabilidade química excepcional

A cerâmica porosa de carboneto de tântalo Semicorex apresenta melhor resistência à corrosão e resistência à oxidação do que a cerâmica convencional. Ele pode suportar com eficácia a corrosão do oxigênio em alta temperatura e do vapor de Si no processo de crescimento do cristal.


3. Estrutura porosa especial

A cerâmica porosa de carboneto de tântalo Semicorex apresenta poros internos uniformemente distribuídos, com uma porosidade entre 10-60% (personalizável) e uma taxa de passagem de poros superior a 98%. Esta estrutura especial permite que elementos em fase de vapor como Si e C fluam e se difundam suavemente dentro do forno de crescimento de cristais, facilitando muito o crescimento de cristais de alta qualidade.


Aplicação no crescimento de cristais de carboneto de silício


Durante o crescimento do cristal de carboneto de silício através do processo PVT, a cerâmica porosa de carboneto de tântalo Semicorex funciona principalmente na filtração de elementos em fase de vapor, na regulação do gradiente de temperatura do forno e na orientação do fluxo de material gasoso. Diferente dos materiais de grafite porosos revestidos com TaC convencionais, a cerâmica porosa de carboneto de tântalo Semicorex apresenta vantagens distintas: eliminaGrafite revestida com TaCa desvantagem dos materiais de uma baixa taxa de poros passantes causada pelo tratamento de revestimento, ao mesmo tempo que evita o ponto problemático de descascamento do revestimento dos materiais porosos de grafite revestidos com TaC encontrado em serviço. Ao usar a cerâmica porosa de carboneto de tântalo Semicorex, você pode inibir efetivamente os defeitos de inclusão de carbono no crescimento do cristal de carboneto de silício, melhorando significativamente a qualidade do crescimento do cristal e o rendimento do produto.

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