A cerâmica porosa de carboneto de tântalo Semicorex é uma cerâmica porosa de alto desempenho projetada especificamente no processo de transporte físico de vapor (PVT). Sua estrutura porosa especial e excelentes propriedades desempenham um papel importante na facilitação do crescimento de cristais de carboneto de silício de alta qualidade. Ao escolher a Semicorex, você obterá soluções cerâmicas porosas ideais com qualidade consistente e desempenho estável para fabricação avançada de semicondutores.
A cerâmica porosa de carboneto de tântalo Semicorex é um material cerâmico de temperatura ultra-alta com um ponto de fusão em torno de 3880 ℃, que pode manter um desempenho estável em ambientes operacionais desafiadores de alta temperatura e alta corrosão, graças às seguintes excelentes características de desempenho.
A temperatura máxima de trabalho do Semicorex porosocerâmica de carboneto de tântalopode ser de até 3.200 ℃ e pode operar de forma estável em condições de crescimento de cristal de carboneto de silício de alta temperatura por um longo tempo sem qualquer deformação ou amolecimento.
A cerâmica porosa de carboneto de tântalo Semicorex apresenta melhor resistência à corrosão e resistência à oxidação do que a cerâmica convencional. Ele pode suportar com eficácia a corrosão do oxigênio em alta temperatura e do vapor de Si no processo de crescimento do cristal.
A cerâmica porosa de carboneto de tântalo Semicorex apresenta poros internos uniformemente distribuídos, com uma porosidade entre 10-60% (personalizável) e uma taxa de passagem de poros superior a 98%. Esta estrutura especial permite que elementos em fase de vapor como Si e C fluam e se difundam suavemente dentro do forno de crescimento de cristais, facilitando muito o crescimento de cristais de alta qualidade.
Durante o crescimento do cristal de carboneto de silício através do processo PVT, a cerâmica porosa de carboneto de tântalo Semicorex funciona principalmente na filtração de elementos em fase de vapor, na regulação do gradiente de temperatura do forno e na orientação do fluxo de material gasoso. Diferente dos materiais de grafite porosos revestidos com TaC convencionais, a cerâmica porosa de carboneto de tântalo Semicorex apresenta vantagens distintas: eliminaGrafite revestida com TaCa desvantagem dos materiais de uma baixa taxa de poros passantes causada pelo tratamento de revestimento, ao mesmo tempo que evita o ponto problemático de descascamento do revestimento dos materiais porosos de grafite revestidos com TaC encontrado em serviço. Ao usar a cerâmica porosa de carboneto de tântalo Semicorex, você pode inibir efetivamente os defeitos de inclusão de carbono no crescimento do cristal de carboneto de silício, melhorando significativamente a qualidade do crescimento do cristal e o rendimento do produto.