Susceptores de wafer de grafite 1x2"

Na fabricação de wafer semicondutor, a camada epitaxial deve crescer no substrato do wafer para a subsequente fabricação de dispositivos semicondutores. Como o processo de crescimento epitaxial é altamente sensível às flutuações de temperatura e à contaminação, as seleções de soluções confiáveissusceptores de wafersão criticamente importantes. Como peças de suporte indispensáveis ​​no processo epitaxial do wafer, a precisão da usinagem, a capacidade de gerenciamento térmico e o desempenho de resistência à contaminação são fatores cruciais para alcançar o crescimento epitaxial do wafer de alta qualidade.

As funções dos susceptores de wafer de grafite Semicorex 1x2"

Feitos de grão ultrafino, grafite de alta pureza como matriz com revestimento denso de carboneto de silício por meio de processos especiais, os susceptores wafer de grafite Semicorex 1x2" oferecem as seguintes funções:

1.Retenção segura e obsoleta

Semicorex 1x2"grafiteOs susceptores wafer apresentam usinagem e tratamento de precisão, proporcionando planicidade de superfície excepcional e precisão dimensional. Isto garante que eles estejam firmemente fixados em uma posição adequada e fornece uma plataforma de suporte plana e estável para o crescimento epitaxial do wafer.

2.Distribuição de calor uniforme de precisão

Com a excelente condutividade térmica dos materiais de grafite e SiC, os susceptores de wafer de grafite Semicorex 1x2" fornecem distribuição de calor rápida e uniforme em toda a substância semicondutora. Ao minimizar os gradientes de temperatura, os susceptores de wafer de grafite Semicorex 1x2" podem efetivamente evitar problemas como qualidade epitaxial irregular e concentração de tensão.

As vantagens do revestimento de carboneto de silício Semicorex

1. Resistência superior à corrosão

Cobertos com um denso revestimento de carboneto de silício, os susceptores de wafer de grafite Semicorex 1x2" são efetivamente resistentes à maioria dos produtos químicos, tornando-os adequados para aplicações em condições operacionais altamente corrosivas, onde o material é frequentemente exposto a gases corrosivos e vapores químicos.

2. Baixo derramamento de partículas

Semicorexrevestimento de carboneto de silíciopossui alta resistência de ligação com a matriz de grafite, o que pode evitar significativamente o risco de contaminação do substrato devido ao desprendimento do revestimento devido à corrosão e precipitação de partículas causadas por ambientes de alta corrosão.

3. Vida útil confiável

Embora as matrizes de grafite apresentem excelente estabilidade térmica e resistência mecânica, elas são propensas à corrosão e pulverização sob condições operacionais do processo epitaxial, encurtando muito a vida útil das matrizes de grafite não revestidas. Ao encapsular totalmente as matrizes de grafite com revestimentos densos de SiC, nossos susceptores de wafer de grafite de 1×2" alcançam durabilidade superior e confiável.

Dados materiais do revestimento Semicorex SiC