Susceptor de grafite revestido de SiC para MOCVD

Semicorex é um fabricante e fornecedor em grande escala de Susceptor de grafite revestido com carboneto de silício na China. Nós nos concentramos em indústrias de semicondutores, como camadas de carboneto de silício e semicondutores epitaxiais. Nosso susceptor de grafite revestido de SiC para MOCVD tem uma boa vantagem de preço e cobre muitos dos mercados europeu e americano. Estamos ansiosos para nos tornar seu parceiro de longo prazo.

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Descrição do produto

O susceptor de grafite revestido com SiC Semicorex para MOCVD é um transportador de grafite revestido com carboneto de silício de alta pureza, usado no processo para aumentar a camada epixial no chip wafer. É a placa central do MOCVD, em formato de engrenagem ou anel. O susceptor de grafite revestido de SiC para MOCVD possui alta resistência ao calor e à corrosão, que possui grande estabilidade em ambientes extremos.
Na Semicorex, temos o compromisso de fornecer produtos e serviços de alta qualidade aos nossos clientes. Usamos apenas os melhores materiais e nossos produtos são projetados para atender aos mais altos padrões de qualidade e desempenho. Nosso susceptor de grafite revestido com SiC para MOCVD não é exceção. Contate-nos hoje para saber mais sobre como podemos ajudá-lo com suas necessidades de processamento de wafers semicondutores.

Parâmetros do susceptor de grafite revestido de SiC para MOCVD

Principais especificações do revestimento CVD-SIC
Propriedades SiC-CVD
Estrutura Cristalina	Fase β do FCC
Densidade	g/cm³	3.21
Dureza	Dureza Vickers	2500
Tamanho do grão	μm	2~10
Pureza Química	%	99.99995
Capacidade de calor	J kg-1 K-1	640
Temperatura de Sublimação	℃	2700
Força Felexural	MPa (TR 4 pontos)	415
Módulo de Young	Gpa (curvatura de 4 pontos, 1300°C)	430
Expansão Térmica (CTE)	10-6K-1	4.5
Condutividade térmica	(W/mK)	300

Características do susceptor de grafite revestido de SiC para MOCVD

-Evite descascar e garanta o revestimento em toda a superfície
Resistência à oxidação em altas temperaturas: Estável em altas temperaturas de até 1600°C
Alta pureza: feita por deposição química de vapor CVD sob condições de cloração de alta temperatura.
Resistência à corrosão: alta dureza, superfície densa e partículas finas.
Resistência à corrosão: ácidos, álcalis, sal e reagentes orgânicos.
- Obtenha o melhor padrão de fluxo de gás laminar
- Garantir uniformidade do perfil térmico
- Evitar qualquer contaminação ou difusão de impurezas