Susceptor de grafite revestido com SiC para MOCVD

Semicorex é um fabricante e fornecedor em larga escala de Susceptor de Grafite Revestido de Carbeto de Silício na China. Nós nos concentramos em indústrias de semicondutores, como camadas de carboneto de silício e semicondutores de epitaxia. Nosso susceptor de grafite revestido com SiC para MOCVD tem uma boa vantagem de preço e cobre muitos dos mercados europeu e americano. Estamos ansiosos para se tornar seu parceiro de longo prazo.

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Descrição do produto

O susceptor de grafite revestido com SiC Semicorex para MOCVD é um suporte de grafite revestido com carboneto de silício de alta pureza, usado no processo para aumentar a camada epixial no chip wafer. É a placa central em MOCVD, a forma de engrenagem ou anel. O susceptor de grafite revestido com SiC para MOCVD possui alta resistência ao calor e à corrosão, que possui grande estabilidade em ambientes extremos.
Na Semicorex, estamos comprometidos em fornecer produtos e serviços de alta qualidade aos nossos clientes. Usamos apenas os melhores materiais e nossos produtos são projetados para atender aos mais altos padrões de qualidade e desempenho. Nosso susceptor de grafite revestido com SiC para MOCVD não é exceção. Entre em contato conosco hoje para saber mais sobre como podemos ajudá-lo com suas necessidades de processamento de wafer semicondutor.

Parâmetros do susceptor de grafite revestido com SiC para MOCVD

Principais especificações do revestimento CVD-SIC
Propriedades do SiC-CVD
Estrutura de cristal	FCC fase β
Densidade	g/cm³	3.21
Dureza	Dureza Vickers	2500
Tamanho de grão	Î¼m	2~10
Pureza Química	%	99.99995
Capacidade de calor	J·kg-1 ·K-1	640
Temperatura de sublimação	℃	2700
Força Felexural	MPa (RT 4 pontos)	415
Módulo de Young	Gpa (dobra de 4pt, 1300â)	430
Expansão Térmica (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Condutividade térmica	(W/mK)	300

Características do susceptor de grafite revestido com SiC para MOCVD

- Evite descascar e assegure o revestimento em toda a superfície
Resistência à oxidação em altas temperaturas: Estável em altas temperaturas de até 1600°C
Alta pureza: feito por deposição de vapor químico CVD sob condições de cloração de alta temperatura.
Resistência à corrosão: alta dureza, superfície densa e partículas finas.
Resistência à corrosão: ácidos, álcalis, sais e reagentes orgânicos.
- Obtenha o melhor padrão de fluxo de gás laminar
- Garantir a uniformidade do perfil térmico
- Prevenir qualquer contaminação ou difusão de impurezas