Susceptores planetários revestidos de SiC

Os susceptores planetários revestidos com SiC Semicorex são componentes de suporte indispensáveis ​​projetados para o crescimento epitaxial de semicondutores em equipamentos Aixtron G2, nos quais são capazes de suportar wafers com segurança e girar em movimento planetário. Desta forma, a uniformidade térmica precisa e a distribuição uniforme de gás através da superfície do wafer podem ser alcançadas com sucesso, o que resulta na deposição da camada epitaxial de qualidade premium nos wafers.

Vantagens dos susceptores planetários revestidos com Semicorex SiC

1. Design de bolso com vários wafers

Semicorex revestido com SiCsusceptores planetáriosapresentam uma distribuição uniforme de vários bolsões de wafer com dimensões controladas com precisão. Essas bolsas de wafer são capazes de segurar firmemente os substratos de wafer durante o processo de crescimento epitaxial, o que pode efetivamente minimizar as variações do processo epitaxial causadas pelo movimento indesejado de substratos de wafer. Além disso, este design de bolso multi-wafer permite que vários substratos de wafer sofram deposição epitaxial simultaneamente em uma única execução de processo, melhorando significativamente a eficiência geral do processo de crescimento epitaxial.

2. Arranjo otimizado do orifício de fluxo de gás

Semicorex incorpora um conjunto cuidadosamente projetado de canais de fluxo de gás em seuSiC-caotedsusceptores planetários, que refinam a otimização da dinâmica do fluxo de gás e a uniformidade térmica em toda a superfície do wafer durante todo o processo epitaxial. Esse design cuidadoso permite controle preciso sobre a taxa de fluxo e distribuição de gás dentro da câmara de reação, o que é essencial para obter filmes finos de alta qualidade, espessura de camada uniforme e desempenho geral confiável do dispositivo.

3. Limpeza ultra-elevada

Os susceptores planetários revestidos com SiC Semicorex são fabricados com materiais de altíssima pureza e níveis de impurezas extremamente baixos, atendendo totalmente aos rigorosos requisitos de limpeza da fabricação de semicondutores. Eles minimizam efetivamente a contaminação do wafer causada pela liberação de gases metálicos, mesmo sob condições corrosivas e de alta temperatura típicas de processos epitaxiais.

4. Vida útil de longa duração

O controle de qualidade da Semicorex começa com nossa rigorosa seleção de matérias-primas. Os susceptores planetários revestidos de SiC são fabricados com precisão a partir de grafite de grau semicondutor e carboneto de silício, oferecendo excelente resistência a altas temperaturas e resistência à corrosão, fazendo com que resistam perfeitamente às desafiadoras condições operacionais epitaxiais de alta temperatura e altamente corrosivas. Com essas excelentes propriedades de material, os susceptores planetários revestidos de SiC Semicorex podem manter seu desempenho consistente e integridade estrutural e evitar danos à superfície e declínio de desempenho em câmaras de reação de alta temperatura e alta corrosão, o que prolonga muito a vida útil dos susceptores planetários revestidos de SiC.