Barco de wafer de silício

A Semicorex pode personalizar a estrutura do barco de wafer de silício, incluindo o formato da haste da ranhura, comprimento do dente da ranhura, formato, ângulo de inclinação e capacidade total de carga do wafer, e pode ser produzida de acordo com as necessidades do cliente. Os barcos de silício de alta temperatura podem efetivamente reduzir os danos de contato às pastilhas de silício e melhorar o rendimento do processo. Seu design de "torres antiderrapantes" de alta temperatura suporta wafers apenas na ponta do dente de suporte. Comparado comcarboneto de silício, o silício tem uma dureza relativamente baixa, o que reduz os danos mecânicos aos wafers, melhorando assim a taxa de passagem da rede e reduzindo efetivamente os custos de produção. O barco de silício fundido é composto por várias partes: dentes, placa de base e placa superior, que são fundidas. Isso reduz os custos de produção. Em caso de danos parciais, as peças danificadas podem ser substituídas sem substituir todo o barco de silicone, reduzindo significativamente os custos de propriedade durante a utilização. Além disso, o barco de silício possui um grande limite superior para deposição de polissilício, o que pode efetivamente reduzir a frequência do equipamento PM e melhorar a capacidade de produção.

O Semicorex Silicon Wafer Boat é um transportador de wafer inovador e especialmente projetado. Ele foi criado especificamente para processamento em fornos de alta temperatura usados ​​na indústria de semicondutores, incluindo processos de oxidação e redução em temperaturas entre 1.200 e 1.250 °C. Apresentando benefícios de desempenho não disponíveis no material de carboneto de silício (SiC), o Silicon Wafer Boat oferece vantagens pertinentes aos rigorosos processos exigidos pela fabricação de semicondutores. Primeiro, a pureza ultra-alta do material de silício é significativa; na verdade, omaterial de silícioatinge níveis de pureza ultra-elevado acima de 9N (99,9999999%), garantindo assim que nenhuma impureza metálica ou estranha contamine o processamento do wafer. Isto é crucial para a fabricação de dispositivos semicondutores de ponta, onde a confiabilidade do desempenho e o rendimento são fortemente afetados pela contaminação. O Silicon Wafer Boat fornece um ambiente ultralimpo com alto nível de pureza adequado para os requisitos mais avançados da indústria para o manuseio de wafers expostos a temperaturas muito altas para processamento de oxidação e redução.

Outro benefício domaterial de silíciosão suas propriedades de dureza mais baixas quando comparadas ao material SiC. Barras ou barcos de SiC são conhecidos por sua dureza e resistência, mas a própria propriedade pode causar dificuldades durante o processamento do wafer. Em altas temperaturas, os wafers se moverão micro; eles saltarão ligeiramente, mudarão ligeiramente e entortarão as bordas enquanto estiverem dentro do barco. Um material SiC mais duro pode representar riscos maiores de geração de partículas ou arranhões na parte traseira do wafer, pois as propriedades do wafer e do barco interagem sob essas condições de processamento em alta temperatura.

O Silicon Wafer Boat alivia essa preocupação aproveitando o caráter relativamente macio do silício em relação ao SiC. A redução na dureza permite menos atrito e estresse mecânico quando os wafers entram em contato com o barco durante os ciclos térmicos. Como resultado, as partículas são geradas com menos frequência e o risco de arranhões na parte traseira é reduzido a quase zero. Além disso, ao minimizar os defeitos superficiais, o Silicon Wafer Boat melhora diretamente a qualidade da rede e aumenta a taxa geral de qualificação dos wafers processados. Para fábricas de semicondutores que buscam melhorar o rendimento com o máximo controle de qualidade, esse estado de desempenho torna o barco de silício uma opção atraente.

O silício oferece boa estabilidade e resistência mecânica em altas temperaturas, permitindo que o barco funcione de forma confiável durante repetidos ciclos de forno. O material resiste à deformação durante os ciclos de aquecimento e resfriamento e, portanto, mantém o posicionamento preciso do wafer e a tolerância de posicionamento mesmo durante ciclos rápidos de forno. Essa robustez térmica fornece resultados de processo confiáveis ​​que são consistentes o suficiente para produção de alto volume com variação mínima entre execuções. O Silicon Wafer Boat é construído com alta precisão dimensional para garantir posicionamento e posicionamento consistentes do wafer. O barco é fabricado com usinagem e polimento avançados para criar superfícies lisas, geometria estreita e tolerâncias restritas.