Como manufatura profissional, gostaríamos de fornecer a você componentes semicondutores. A Semicorex é sua parceira para melhorar o processamento de semicondutores. Nossos revestimentos de carboneto de silício são densos, resistentes a altas temperaturas e produtos químicos, que são frequentemente usados em todo o ciclo de fabricação de semicondutores, incluindo wafer de semicondutor e processamento de wafer e fabricação de semicondutores.
Os componentes revestidos de SiC de alta pureza são cruciais para os processos no semicondutor. Nossa oferta varia de consumíveis de grafite para zonas quentes de crescimento de cristal (aquecedores, susceptores de cadinho, isolamento) a componentes de grafite de alta precisão para equipamentos de processamento de wafer, como susceptores de grafite revestidos de carboneto de silício para Epitaxy ou MOCVD.
Vantagens para processos de semicondutores
As fases de deposição de filmes finos, como epitaxia ou MOCVD, ou processamento de manuseio de wafer, como corrosão ou implante de íons, devem suportar altas temperaturas e limpeza química severa. A construção de grafite revestida de carboneto de silício (SiC) de alta pureza fornece resistência superior ao calor e resistência química durável, uniformidade térmica uniforme para espessura e resistência consistentes da camada epi.
Tampas de câmara â
As tampas de câmara usadas no crescimento de cristais e no processamento de wafer devem suportar altas temperaturas e limpeza química severa.
End Effector â
O efetor final é a mão do robô que move os wafers semicondutores entre as posições no equipamento de processamento de wafer e nos transportadores.
Anéis de entrada â
Anel de entrada de gás revestido com SiC pelo equipamento MOCVD O crescimento composto tem alta resistência ao calor e à corrosão, que tem grande estabilidade em ambientes extremos.
Anel de Foco â
O anel de foco revestido com carboneto de silício é realmente estável para RTA, RTP ou limpeza química severa.
Wafer Chuck â
Os mandris de wafer de cerâmica semicorex ultraplanos são revestidos com SiC de alta pureza para uso no processo de manuseio de wafer.
As peças sobressalentes Semicorex em crescimento epitaxial são componentes cruciais utilizados em sistemas de crescimento epitaxial, particularmente em processos que envolvem configurações de tubos de quartzo. Estas peças desempenham um papel vital na facilitação do fluxo de gás para impulsionar a rotação da base da bandeja e garantir o controle preciso da temperatura durante todo o processo de crescimento epitaxial. A Semicorex está comprometida em fornecer produtos de qualidade a preços competitivos. Esperamos nos tornar seu parceiro de longo prazo na China.
consulte Mais informaçãoEnviar consultaO Semicorex SiC Wafer Transfer Hand é a base da automação no processo de fabricação de semicondutores, servindo como uma ferramenta robótica sofisticada para o manuseio preciso e eficiente de wafers semicondutores. A Semicorex está comprometida em fornecer produtos de qualidade a preços competitivos. Esperamos nos tornar seu parceiro de longo prazo na China.
consulte Mais informaçãoEnviar consultaSemicorex SiC Finger é um componente crucial no processamento de semicondutores, funciona como ferramenta de transferência de wafer. Com o formato semelhante a um dedo, este dispositivo especializado é meticulosamente fabricado em carboneto de silício (SiC), um material conhecido por sua excepcional resistência mecânica, estabilidade térmica e resistência a ambientes químicos agressivos. A Semicorex está comprometida em fornecer produtos de qualidade a preços competitivos. Esperamos nos tornar seu parceiro de longo prazo na China.
consulte Mais informaçãoEnviar consultaO tubo de processo de carboneto de silício Semicorex é um componente crucial no domínio da fabricação de semicondutores, projetado especificamente para uso em fornos verticais empregados em várias aplicações de processamento de semicondutores, como RTP e difusão. A Semicorex está comprometida em fornecer produtos de qualidade a preços competitivos. Esperamos nos tornar seu parceiro de longo prazo na China.
consulte Mais informaçãoEnviar consultaO Semicorex Robot Hand, um componente essencial do forno de Deposição de Vapor Químico Orgânico de Metal (MOCVD), é um testemunho da engenharia de precisão e da ciência avançada de materiais. A Semicorex está comprometida em fornecer produtos de qualidade a preços competitivos. Esperamos nos tornar seu parceiro de longo prazo na China.
consulte Mais informaçãoEnviar consultaDesbloqueie o epítome de desempenho e durabilidade no reino dos equipamentos semicondutores com nossa moderna tampa de grafite revestida com SiC. Este componente em forma de disco foi habilmente projetado para diversas aplicações de semicondutores, oferecendo uma combinação exclusiva de grafite e revestimento de carboneto de silício (SiC) para aprimorar a funcionalidade e a eficiência. A Semicorex está comprometida em fornecer produtos de qualidade a preços competitivos. Esperamos nos tornar seu parceiro de longo prazo na China.
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