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Como fabricante profissional, gostaríamos de fornecer componentes semicondutores. A Semicorex é sua parceira para melhoria no processamento de semicondutores. Nossos revestimentos de carboneto de silício são densos, resistentes a altas temperaturas e a produtos químicos, que são frequentemente usados ​​em todo o ciclo de fabricação de semicondutores, incluindo wafer semicondutor, processamento de wafer e fabricação de semicondutores.

Componentes revestidos com SiC de alta pureza são cruciais para processos no semicondutor. Nossa oferta varia de consumíveis de grafite para zonas quentes de crescimento de cristais (aquecedores, susceptores de cadinho, isolamento) até componentes de grafite de alta precisão para equipamentos de processamento de wafer, como susceptores de grafite revestidos com carboneto de silício para Epitaxy ou MOCVD.


Vantagens para processos de semicondutores

As fases de deposição de filme fino, como epitaxia ou MOCVD, ou processamento de manuseio de wafer, como gravação ou implante iônico, devem suportar altas temperaturas e limpeza química severa. A Semicorex fornece construção de grafite revestida com carboneto de silício (SiC) de alta pureza que oferece resistência superior ao calor e resistência química durável, até mesmo uniformidade térmica para espessura e resistência consistentes da camada epi.


Tampas de Câmara →
As tampas de câmara usadas no crescimento de cristais e no processamento de manuseio de wafers devem suportar altas temperaturas e limpeza química severa.


Efetor final →
O efetor final é a mão do robô que move wafers semicondutores entre posições em equipamentos de processamento de wafers e transportadores.


Anéis de entrada →
Anel de entrada de gás revestido com SiC pelo equipamento MOCVD O crescimento do composto possui alta resistência ao calor e à corrosão, que possui grande estabilidade em ambientes extremos.


Anel de foco →
A Semicorex fornece anel de foco revestido com carboneto de silício é realmente estável para RTA, RTP ou limpeza química agressiva.


Mandril de wafer →
Os mandris de wafer de cerâmica ultraplanos Semicorex são revestidos com SiC de alta pureza no processo de manuseio de wafer.





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Barco Pedestal de Silício

Barco Pedestal de Silício

O Semicorex Silicon Pedestal Boat é um transportador de wafer de ultra-alta pureza 9N projetado para suporte de wafer preciso e estável em processos de oxidação, difusão e LPCVD em alta temperatura. Escolha Semicorex para obter pureza de material incomparável, usinagem de precisão e confiabilidade comprovada*

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Injetor de Silício

Injetor de Silício

O Semicorex Silicon Injector é um componente tubular de altíssima pureza projetado para fornecimento de gás preciso e livre de contaminação em processos de deposição de polissilício LPCVD. Escolha Semicorex para pureza líder do setor, usinagem de precisão e confiabilidade comprovada.*

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Barco de wafer de silício

Barco de wafer de silício

Semicorex Silicon Wafer Boat é um transportador de alta pureza projetado para fornos semicondutores de alta temperatura, suportando wafers durante processos de oxidação e redução a 1200–1250 °C. A Semicorex fornece produtos superiores, desempenho ultralimpo e resultados confiáveis ​​que melhoram diretamente o rendimento do dispositivo.*

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Anel de escudo de silicone

Anel de escudo de silicone

O Semicorex Silicon Shield Ring é um componente de silício de alta pureza projetado para sistemas avançados de gravação a plasma, servindo tanto como escudo protetor quanto como eletrodo auxiliar. Semicorex garante desempenho ultralimpo, estabilidade de processo e resultados de gravação superiores com componentes semicondutores projetados com precisão.*

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Pá Cerâmica SiC

Pá Cerâmica SiC

Semicorex SiC Ceramic Paddle é um componente cantilever de alta pureza projetado para fornos semicondutores de alta temperatura, usado principalmente em processos de oxidação e difusão. Escolher a Semicorex significa obter acesso a soluções cerâmicas avançadas que garantem estabilidade, limpeza e durabilidade excepcionais para aplicações críticas de manuseio de wafers.*

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Peças de meia lua revestidas de SiC

Peças de meia lua revestidas de SiC

As peças Halfmoon revestidas com SiC Semicorex são componentes de engenharia de precisão projetados como elementos essenciais do equipamento epitaxial, onde duas seções em forma de meia-lua se combinam para formar um conjunto central completo. Escolher a Semicorex significa garantir soluções confiáveis, de alta pureza e duráveis ​​que garantem suporte estável de wafer e condução de calor eficiente para fabricação avançada de semicondutores.*

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A Semicorex produz Componentes semicondutores há muitos anos e é um dos fabricantes e fornecedores profissionais de Componentes semicondutores na China. Depois de comprar nossos produtos avançados e duráveis ​​que fornecem embalagem a granel, garantimos a grande quantidade em entrega rápida. Ao longo dos anos, fornecemos aos clientes um serviço personalizado. Os clientes estão satisfeitos com nossos produtos e excelente serviço. Esperamos sinceramente tornar-se seu parceiro comercial confiável de longo prazo! Bem-vindo ao comprar produtos de nossa fábrica.
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