Como fabricante profissional, gostaríamos de fornecer componentes semicondutores. A Semicorex é sua parceira para melhoria no processamento de semicondutores. Nossos revestimentos de carboneto de silício são densos, resistentes a altas temperaturas e a produtos químicos, que são frequentemente usados em todo o ciclo de fabricação de semicondutores, incluindo wafer semicondutor, processamento de wafer e fabricação de semicondutores.
Componentes revestidos com SiC de alta pureza são cruciais para processos no semicondutor. Nossa oferta varia de consumíveis de grafite para zonas quentes de crescimento de cristais (aquecedores, susceptores de cadinho, isolamento) até componentes de grafite de alta precisão para equipamentos de processamento de wafer, como susceptores de grafite revestidos com carboneto de silício para Epitaxy ou MOCVD.
Vantagens para processos de semicondutores
As fases de deposição de filme fino, como epitaxia ou MOCVD, ou processamento de manuseio de wafer, como gravação ou implante iônico, devem suportar altas temperaturas e limpeza química severa. A Semicorex fornece construção de grafite revestida com carboneto de silício (SiC) de alta pureza que oferece resistência superior ao calor e resistência química durável, até mesmo uniformidade térmica para espessura e resistência consistentes da camada epi.
Tampas de Câmara →
As tampas de câmara usadas no crescimento de cristais e no processamento de manuseio de wafers devem suportar altas temperaturas e limpeza química severa.
Efetor final →
O efetor final é a mão do robô que move wafers semicondutores entre posições em equipamentos de processamento de wafers e transportadores.
Anéis de entrada →
Anel de entrada de gás revestido com SiC pelo equipamento MOCVD O crescimento do composto possui alta resistência ao calor e à corrosão, que possui grande estabilidade em ambientes extremos.
Anel de foco →
A Semicorex fornece anel de foco revestido com carboneto de silício é realmente estável para RTA, RTP ou limpeza química agressiva.
Mandril de wafer →
Os mandris de wafer de cerâmica ultraplanos Semicorex são revestidos com SiC de alta pureza no processo de manuseio de wafer.
Os dedos SiC semicorex são componentes de engenharia de precisão feitos de carboneto de silício de alta pureza, projetados para executar sob as demandas extremas da fabricação de semicondutores. Escolher semicorex significa acesso a conhecimento avançado de materiais, processamento de alta precisão e soluções confiáveis confiáveis em aplicativos críticos de manuseio de bolacha.*
consulte Mais informaçãoEnviar consultaA tampa semicorex SiC é um componente de carboneto de silício de alta pureza projetado para ambientes de processamento de semicondutores extremos. Escolher semicorex significa garantir a qualidade do material incomparável, a engenharia de precisão e as soluções personalizadas confiáveis pelos principais fabricantes de semicondutores em todo o mundo.*
consulte Mais informaçãoEnviar consultaOs eletrodos de silício semicorex são componentes de alto desempenho que combinam condução elétrica eficiente com recursos precisos de distribuição de gás. Escolher semicorex significa parceria com um especialista confiável que oferece qualidade superior, técnicas avançadas de fabricação e soluções de eletrodo de silício confiáveis e personalizáveis adaptadas às suas necessidades específicas.*
consulte Mais informaçãoEnviar consultaOs barcos de silício semicorex são portadores de silício de alta pureza projetados para crescimento de cristal, semicondutores e processos de fabricação fotovoltaica, fornecendo excepcional estabilidade térmica e controle de contaminação. Escolher semicorex significa acessar barcos de engenharia de precisão feitos sob rigoroso controle de qualidade para garantir um desempenho consistente nos ambientes mais exigentes.*
consulte Mais informaçãoEnviar consultaO revestimento CVD SiC do aquecedor de revestimento Semicorex SiC oferece desempenho superior na proteção de elementos de aquecimento contra ambientes agressivos, corrosivos e reativos frequentemente encontrados em processos como deposição de vapor químico metal-orgânico (MOCVD) e crescimento epitaxial.**
consulte Mais informaçãoEnviar consultaO chuveiro metálico, conhecido como placa de distribuição de gás ou chuveiro a gás, é um componente crítico amplamente utilizado em processos de fabricação de semicondutores. Sua função principal é distribuir uniformemente os gases em uma câmara de reação, garantindo que os materiais semicondutores entrem em contato uniforme com o processo. gases.**
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