Anéis com fenda de poli-si

Anéis com fenda de poli-Si são comumente instalados na câmara de reação de equipamentos avançados de gravação de semicondutores. Eles operam sinergicamente com peças de silício, incluindo silícioanéis de foco, anéis externos de silício e silíciochuveiros. Estas peças podem criar um ambiente de reação estável e ideal para o processo de gravação, garantindo excelentegravuraprecisão e consistência do processo.

Funções dos anéis com fenda Semicorex poli-Si

1. Os anéis com fenda de poli-Si Semicorex são equipados com múltiplas ranhuras distribuídas uniformemente que servem como passagens de gás, o que permite a exaustão suave dos gases do processo após a reação.

2. Os anéis com fenda de poli-Si Semicorex são capazes de alcançar excelente controle de plasma, oferecendo proteção confiável para a câmara de reação do equipamento de gravação de semicondutores.

3. Os anéis com fenda de poli-Si Semicorex podem ajudar a ajustar o campo elétrico e a pressão da câmara, evitando assim que a instabilidade afete a consistência do processo de gravação.

Seleção de materiais de alto padrão

Os anéis com fenda Semicorex poli-Si são fabricados a partir de silício policristalino de alta qualidade com um nível de pureza superior a 99,9999%, o que lhes confere propriedades superiores como segue.

1. Pureza ultra-alta e teor de impurezas extremamente baixo.

2. Excepcional resistência à corrosão por plasma.

3. Propriedades elétricas favoráveis, com uniformidade de resistência: RRG ≤ 5%, baixa resolução. (<0,02), resolução média. (1–4) e alta resolução. (70–90).

Capacidades de fabricação e controle de qualidade

Equipada com equipamentos de usinagem avançados e uma equipe técnica experiente, a Semicorex controla rigorosamente cada processo de produção e oferece anéis com fenda de poli-Si de alta qualidade e bem combinados aos nossos valiosos clientes. Além disso, a Semicorex realiza controle rigoroso sobre medição dimensional, testes de resistividade e inspeção visual nos anéis com fenda de poli-Si acabados para garantir que estejam livres de defeitos como lascas, arranhões, rachaduras e manchas.