Como fabricante profissional, gostaríamos de fornecer componentes semicondutores. A Semicorex é sua parceira para melhoria no processamento de semicondutores. Nossos revestimentos de carboneto de silício são densos, resistentes a altas temperaturas e a produtos químicos, que são frequentemente usados em todo o ciclo de fabricação de semicondutores, incluindo wafer semicondutor, processamento de wafer e fabricação de semicondutores.
Componentes revestidos com SiC de alta pureza são cruciais para processos no semicondutor. Nossa oferta varia de consumíveis de grafite para zonas quentes de crescimento de cristais (aquecedores, susceptores de cadinho, isolamento) até componentes de grafite de alta precisão para equipamentos de processamento de wafer, como susceptores de grafite revestidos com carboneto de silício para Epitaxy ou MOCVD.
Vantagens para processos de semicondutores
As fases de deposição de filme fino, como epitaxia ou MOCVD, ou processamento de manuseio de wafer, como gravação ou implante iônico, devem suportar altas temperaturas e limpeza química severa. A Semicorex fornece construção de grafite revestida com carboneto de silício (SiC) de alta pureza que oferece resistência superior ao calor e resistência química durável, até mesmo uniformidade térmica para espessura e resistência consistentes da camada epi.
Tampas de Câmara →
As tampas de câmara usadas no crescimento de cristais e no processamento de manuseio de wafers devem suportar altas temperaturas e limpeza química severa.
Efetor final →
O efetor final é a mão do robô que move wafers semicondutores entre posições em equipamentos de processamento de wafers e transportadores.
Anéis de entrada →
Anel de entrada de gás revestido com SiC pelo equipamento MOCVD O crescimento do composto possui alta resistência ao calor e à corrosão, que possui grande estabilidade em ambientes extremos.
Anel de foco →
A Semicorex fornece anel de foco revestido com carboneto de silício é realmente estável para RTA, RTP ou limpeza química agressiva.
Mandril de wafer →
Os mandris de wafer de cerâmica ultraplanos Semicorex são revestidos com SiC de alta pureza no processo de manuseio de wafer.
O Semicorex SiC Heating Filament é um aquecedor de grafite revestido com carboneto de silício projetado para aquecimento de wafer na fabricação avançada de semicondutores. Escolher a Semicorex significa selecionar um parceiro confiável que forneça materiais de alta pureza, personalização precisa e desempenho duradouro para os processos térmicos mais exigentes.*
consulte Mais informaçãoEnviar consultaOs mandris de carboneto de silício Semicorex são especialmente projetados para equipamentos de fotolitografia e têm múltiplas vantagens, como alta precisão, peso ultraleve, alta rigidez, baixo coeficiente de expansão térmica e excelente resistência ao desgaste.
consulte Mais informaçãoEnviar consultaOs tubos de forno Semicorex SiC são tubos de carboneto de silício de alta pureza fabricados por tecnologia avançada de impressão 3D, projetados para processos fotovoltaicos de alta temperatura. A Semicorex oferece soluções de SiC de ponta com resistência, estabilidade e confiabilidade superiores, confiáveis pela indústria solar em todo o mundo.*
consulte Mais informaçãoEnviar consultaAs pás SiC Semicorex são braços cantilever de carboneto de silício de alta pureza projetados para transporte de wafer em fornos de oxidação e difusão de alta temperatura acima de 1000 ℃. Escolher a Semicorex significa garantir qualidade de material excepcional, engenharia de precisão e confiabilidade de longo prazo com a confiança das principais fábricas de semicondutores.*
consulte Mais informaçãoEnviar consultaSemicorex SiC Focus Ring é um componente de anel de carboneto de silício de alta pureza projetado para otimizar a distribuição de plasma e a uniformidade do processo de wafer na fabricação de semicondutores. Escolher a Semicorex significa garantir qualidade consistente, engenharia de materiais avançada e desempenho confiável confiável pelas principais fábricas de semicondutores do mundo.*
consulte Mais informaçãoEnviar consultaO mandril de moagem de borda de semicorex é um disco de cerâmica feito de alumina branca de alta pureza, projetada para a trituração da borda da wafer na fabricação de semicondutores. A escolha do semicorex garante qualidade de material superior, engenharia de precisão e desempenho confiável que suporta os ambientes de processamento de wafer mais exigentes.*
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