Barcos Cassete de Silício

Os cassetes de silício feitos de silício policristalino ou silício monocristalino de alta pureza insuperável têm as seguintes vantagens:

1.Contaminação com impurezas ultrabaixa: 

Seus materiais compartilham a mesma composição química dos wafers transportados, minimizando íons de impureza indesejados durante processos de alta temperatura.

2.Excelente estabilidade térmica: 

Eles são capazes de suportar a não deformação e manter um espaçamento preciso para exposição prolongada a altas temperaturas (cerca de 1250°C), fornecendo assim uma plataforma de suporte estável para wafers.

3.Excelentes propriedades mecânicas: 

Eles são mais resistentes ao impacto e menos propensos a quebrar durante o carregamento e descarregamento do que os barcos de quartzo.

4. Longa vida útil: 

Sem revestimento de superfície, os materiais de sua superfície não descascarão mesmo quando expostos a ambientes desafiadores de alta temperatura por um longo período.

Silício semicorexbarcos cassetesão pequenos suportes de wafer e transportadores de transferência compatíveis com fornos horizontais de alta temperatura de 4 e 6 polegadas. O projeto estrutural formado integrado evita lacunas de emenda e fraquezas estruturais nas juntas, reduzindo significativamente os riscos de fissuras causadas por impacto mecânico, corrosão química ou estresse térmico. Os cassetes de silicone são bem compatíveis com procedimentos de tratamento em alta temperatura, como oxidação, difusão, recozimento e limpeza em alta temperatura, devido em grande parte à tecnologia de processamento de ponta da Semicorex.

Os barcos cassete de silício Semicorex suportam ajustes personalizados de alta qualidade para nossos valiosos clientes, incluindo aspectos como formato da barra de ranhura, comprimento do dente da ranhura, perfil, ângulo de inclinação e capacidade total de carregamento de wafer. Este design personalizado garante que os wafers sejam dispostos com precisão em intervalos fixos dentro dos cassetes de silício, mitigando efetivamente o desvio de posição e o aquecimento irregular durante o processamento e, assim, evitando danos ao desempenho elétrico do chip ou até mesmo falha completa do chip. Para garantir que os clientes recebam produtos de alta qualidade, os barcos cassete de silício da Semicorex devem passar por rigorosas inspeções de qualidade, incluindo precisão dimensional, propriedades do material, planicidade da superfície, limpeza geral e tensão residual.