Tubos de Processo SiC

Os tubos de processo Semicorex SiC são componentes estruturais importantes na oxidação, difusão, RTA/RTP no processo de fabricação de semicondutores. Geralmente é um tubo de grande diâmetro como espaço da fornalha do reator, todos os processos químicos ocorrerão em seu interior. Então a resistência, a resistência ao choque térmico são pontos muito básicos para o produto.

Os tubos de processo SiC são feitos porcarboneto de silício sinterizado, pode ser SiSiC, SSiC ou RSiC, e o revestimento CVD SiC na superfície, que formará uma camada de ultra alta pureza. Pode prevenir a poluição por partículas, cinzas, etc. E o material tem uma resistência ao choque térmico muito alta, de modo que os tubos do processo de SiC podem permanecer estáveis ​​em resistência a altas temperaturas e evitar que as impurezas se precipitem em altas temperaturas e assim poluam o meio ambiente.

Esses tubos de processo de SiC são projetados para uso em atmosferas com gás reativo (oxigênio), gás de proteção (nitrogênio) e quantidades mínimas de gás cloreto de hidrogênio e oferecem excelente resistência química, estabilidade térmica e pureza de material até 1250°C. Os tubos de processo Semicorex SiC combinam fabricação de impressão 3D de última geração com revestimento de deposição química de vapor (CVD) para fornecer desempenho e vida útil superiores sob as condições térmicas e químicas mais extremas.

Os tubos de processo Semicorex SiC são produzidos por meio de um processo de moldagem integrado por impressão 3D, em vez de um tubo convencional formado ou montado por prensa. Este processo de fabricação permite uma estrutura cerâmica contínua e consistente, sem juntas e áreas fracas, criando um alto grau de complexidade e fidelidade dimensional, o que pode aliviar as concentrações de tensões e, ao mesmo tempo, aumentar a resistência mecânica. Além disso, a estrutura monolítica proporciona uma vedação estanque ao gás natural, reduzindo a contaminação e o vazamento durante processos de alta temperatura.

OSiCdo corpo é um material com impurezas ultrabaixas (<300 ppm), proporcionando excelente pureza e estabilidade do material para atmosferas reativas. Além disso, o tubo é revestido com uma camada de carboneto de silício CVD (< 5 ppm) para melhorar a resistência à corrosão e a proteção da superfície.

A Semicorex oferece o serviço customizado, podemos produzir de acordo com os desenhos do cliente, para atender aos requisitos de especificações exigidas. Portanto, os tubos de processo Semicorex SiC podem ser alternativamente adequados não apenas para fornos horizontais, mas também para fornos verticais.