A cerâmica de carboneto de silício (SiC) é um material cerâmico avançado que contém silício e carbono. Grãos de carboneto de silício podem ser unidos por sinterização para formar cerâmicas muito duras. A Semicorex fornece cerâmica de carboneto de silício personalizada conforme sua necessidade.
Formulários
Com a cerâmica de carboneto de silício, as propriedades do material permanecem constantes até temperaturas acima de 1.400°C. O alto módulo de Young > 400 GPa garante excelente estabilidade dimensional.
Uma aplicação típica para componentes de carboneto de silício é a tecnologia de vedação dinâmica que utiliza rolamentos de fricção e vedações mecânicas, por exemplo, em bombas e sistemas de acionamento.
Com propriedades avançadas, as cerâmicas de carboneto de silício também são ideais para uso na indústria de semicondutores.
Barcos de wafer
O Semicorex Wafer Boat é fabricado em cerâmica de carboneto de silício sinterizado, que apresenta boa resistência à corrosão e excelente resistência a altas temperaturas e choque térmico. A cerâmica avançada oferece excelente resistência térmica e durabilidade do plasma, ao mesmo tempo que atenua partículas e contaminantes para transportadores de wafer de alta capacidade.
Carboneto de silício sinterizado por reação
Em comparação com outros processos de sinterização, a mudança de tamanho da sinterização por reação durante o processo de densificação é pequena e podem ser produzidos produtos com dimensões precisas. No entanto, a presença de uma grande quantidade de SiC no corpo sinterizado piora o desempenho em altas temperaturas da cerâmica de SiC sinterizada por reação.
Carboneto de silício sinterizado sem pressão
O carboneto de silício sinterizado sem pressão (SSiC) é uma cerâmica particularmente leve e ao mesmo tempo dura de alto desempenho. SSiC é caracterizado por alta resistência, que permanece quase constante mesmo em temperaturas extremas.
Carboneto de silício recristal
Carboneto de silício recristalizado (RSiC) são materiais de próxima geração formados pela mistura de pó grosso de carboneto de silício de alta pureza e pó fino de carboneto de silício de alta atividade e, após o rejuntamento, sinterização a vácuo a 2.450 ° C para recristalizar.
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Carboneto de silício sinterizado de reação |
Carboneto de silício sinterizado sem pressão |
Carboneto de Silício Recristalizado |
Propriedades típicas |
Unidades |
Valores |
|
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Densidade aparente |
g/cm3 |
3 |
3,15±0,03 |
2,60-2,70 |
Resistência à Flexão |
MPa (kpsi) |
338(49) |
380(55) |
80-90 (20°C) |
Força compressiva |
MPa (kpsi) |
1120(158) |
3970(560) |
> 600 |
Dureza |
Botão |
2700 |
2800 |
/ |
Quebrando a Tenacidade |
MPam1/2 |
4.5 |
4 |
/ |
Condutividade térmica |
W/m.k |
95 |
120 |
23 |
Coeficiente de expansão térmica |
10-60,1/°C |
5 |
4 |
4.7 |
Calor específico |
Joule/g 0k |
0.8 |
0.67 |
/ |
Temperatura máxima no ar |
℃ |
1200 |
1500 |
1600 |
Módulo Elástico |
GP |
360 |
410 |
240 |
Resistência à Flexão |
MPa (kpsi) |
338(49) |
380(55) |
80-90 (20°C) |
A Semicorex fornece barcos de wafer, pedestais e transportadores de wafer personalizados para configurações verticais/de coluna e horizontais. Há muitos anos que somos fabricantes e fornecedores de película de revestimento de carboneto de silício. Nosso Semiconductor Wafer Boat tem uma boa vantagem de preço e cobre a maioria dos mercados europeus e americanos. Estamos ansiosos para nos tornarmos seu parceiro de longo prazo na China.
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