Pás cantilever de carboneto de silício

As pás cantilever de carboneto de silício Semicorex são normalmente usadas com barcos wafer horizontais em fornos de processamento de alta temperatura. Eles podem garantir uma transferência precisa e suave de barcos wafer para dentro e para fora dos tubos do forno, fornecendo um forte suporte para a estabilidade e o rendimento da fabricação de semicondutores. Projetadas especificamente para tratamento de wafer em alta temperatura, as pás cantilever de carboneto de silício Semicorex funcionam de forma constante a cerca de 1250°C sob uma atmosfera de trabalho severa que consiste em oxigênio (gás de reação), nitrogênio (gás protetor) e uma pequena quantidade de cloreto de hidrogênio.

Seleção de materiais de alto padrão

Os produtos premium dependem de matérias-primas nobres. A Semicorex adota matéria-prima de carboneto de silício de alta pureza para garantir que nossas pás cantilever de carboneto de silício sejam de primeira qualidade em todo o setor. Suas bases são feitas de carboneto de silício ligado por reação de alta qualidade com teor de impurezas controlado abaixo de 100 ppm e suas superfícies são cobertas com um revestimento CVD SiC onde as impurezas são mantidas abaixo de 1 ppm. Este material de alto padrão que fabrica pás cantilever de carboneto de silício Semicorex oferece excelentes propriedades listadas abaixo.

1. Limpeza ultra-alta:Semicorexcarboneto de silícioas pás cantilever apresentam alta pureza e não liberam impurezas indesejadas durante a operação, eliminando fundamentalmente a contaminação de wafers e fornos de processamento.

2. Estabilidade térmica estável:As pás cantilever de carboneto de silício Semicorex operam de forma confiável a 1250°C e suportam mudanças bruscas de temperatura ao entrar e sair do forno, livres de qualquer deformação ou rachadura.

3. Resistência mecânica superior:As pás cantilever de carboneto de silício Semicorex apresentam alta dureza e resistência e podem suportar desgaste e arranhões durante operações frequentes de empurrar e puxar.

4. Resistência à corrosão confiável:Semicorexpás cantilever de carboneto de silíciopode suportar corrosão severa por álcalis e ácidos fortes graças à sua notável estabilidade química.

Design atencioso e usinagem de precisão

A Semicorex usa a tecnologia de impressão 3D integral para formar pás cantilever de carboneto de silício, o que as permite livres de pontos fracos de tensão nas juntas, proporcionando capacidade de carga confiável durante a operação. Ele também suporta personalização total de pás cantilever de carboneto de silício. As pás cantilever podem ser adaptadas com precisão em termos de comprimento, estrutura e especificação de interface e estão disponíveis para combinar perfeitamente com diâmetros de tubos de forno, dimensões de barcos wafer, sistemas de carregamento automatizados e requisitos específicos de processo.