Aquecedor de wafer revestido de SiC

O Aquecedor de Wafer Revestido de SiC Semicorex pode operar no forno de alta temperatura com mais de 3000 °C em uma atmosfera inerte, 2200 °C no vácuo. O aquecedor de wafer revestido de SiC de alta pureza oferece resistência superior ao calor, uniformidade térmica uniforme para espessura e resistência consistentes da camada epi e resistência química durável. O revestimento fino de cristal de SiC fornece uma superfície limpa e lisa, essencial para o manuseio, pois os wafers intactos entram em contato com o susceptor em muitos pontos em toda a sua área.
Na Semicorex, nos concentramos em fornecer aquecedor de wafer revestido de SiC de alta qualidade e econômico, priorizamos a satisfação do cliente e fornecemos soluções econômicas. Estamos ansiosos para nos tornarmos seu parceiro de longo prazo, oferecendo produtos de alta qualidade e atendimento excepcional ao cliente.

Parâmetros do Aquecedor de Wafer Revestido com SiC

Características do Aquecedor de Wafer Revestido com SiC

- Grafite revestido de SiC de alta pureza
- Superior resistência ao calor e uniformidade térmica
- Cristal fino de SiC revestido para uma superfície lisa
- Alta durabilidade contra limpeza química
- O material é projetado para que não ocorram rachaduras e delaminação.