Aquecedor de wafer revestido de SiC

O aquecedor de wafer revestido com SiC Semicorex pode operar no forno de alta temperatura com mais de 3.000 ° C em uma atmosfera inerte, 2.200 ° C no vácuo. O aquecedor de wafer revestido com SiC de alta pureza oferece resistência superior ao calor, uniformidade térmica uniforme para espessura e resistência consistentes da camada epi e resistência química durável. O revestimento fino de cristal SiC fornece uma superfície limpa e lisa, crítica para o manuseio, uma vez que os wafers imaculados entram em contato com o susceptor em muitos pontos em toda a sua área.
Na Semicorex, nos concentramos em fornecer aquecedores de wafer revestidos com SiC de alta qualidade e econômicos, priorizamos a satisfação do cliente e fornecemos soluções econômicas. Esperamos nos tornar seu parceiro de longo prazo, fornecendo produtos de alta qualidade e atendimento ao cliente excepcional.

Parâmetros do aquecedor de wafer revestido de SiC

Características do aquecedor de wafer revestido de SiC

- Grafite revestida com SiC de alta pureza
- Resistência ao calor superior e uniformidade térmica
- Cristal SiC fino revestido para uma superfície lisa
- Alta durabilidade contra limpeza química
- O material é projetado para que não ocorram rachaduras e delaminação.