Aquecedor de processo de wafer

Semicorex é um fabricante e fornecedor em grande escala de Susceptor de grafite revestido com carboneto de silício na China. Nós nos concentramos em indústrias de semicondutores, como camadas de carboneto de silício e semicondutores epitaxiais. Nosso aquecedor de processo Wafer tem uma boa vantagem de preço e cobre muitos dos mercados europeu e americano. Estamos ansiosos para nos tornar seu parceiro de longo prazo.

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Descrição do produto

O aquecedor de processo de wafer Semicorex é feito de grafite com revestimento de carboneto de silício (SiC), o revestimento é aplicado por um método CVD em graus específicos de grafite de alta densidade, para que possa operar no forno de alta temperatura com mais de 3000 ° C em uma atmosfera inerte, 2200°C em vácuo.
As propriedades especiais e a baixa massa do material do aquecedor de processo Wafer permitem taxas de aquecimento rápidas, distribuição uniforme de temperatura e excelente precisão no controle. Em comparação com outros materiais, a superfície do Carboneto de Silício permanece plana devido à sua baixa expansão térmica, mesmo quando operado com mudanças rápidas de temperatura. As placas quentes são muito adequadas para processos exigentes em sistemas de processamento de semicondutores.
Na Semicorex, nos concentramos em fornecer produtos de alta qualidade e econômicos aos nossos clientes. Nosso aquecedor de processo Wafer tem uma vantagem de preço e é exportado para muitos mercados europeus e americanos. Nosso objetivo é ser seu parceiro de longo prazo, fornecendo produtos de qualidade consistente e atendimento ao cliente excepcional.

Parâmetros do aquecedor de processo wafer

Especificação Técnica	VET-M3
Densidade aparente (g/cm3)	≥1,85
Conteúdo de cinzas (PPM)	≤500
Dureza Shore	≥45
Resistência Específica (μ.Ω.m)	≤12
Resistência à Flexão (Mpa)	≥40
Resistência à Compressão (Mpa)	≥70
Máx. Tamanho do grão (μm)	≤43
Coeficiente de Expansão Térmica Mm/°C	≤4.4*10-6

Características do aquecedor de processo de wafer

- Revestimentos CVD SiC para melhorar a vida útil.
- Resistência a altas temperaturas, resistência à corrosão, longa vida útil, pode melhorar a qualidade e o rendimento do wafer.
- Possui coeficiente de expansão térmica extremamente baixo, resistência a altas temperaturas, alta resistência ao desgaste, bom isolamento, boa estabilidade química e penetração de luz visível quase roxa (vermelha).

Podemos fornecer cadinho de grafite antioxidação e longa vida útil, molde de grafite e todas as peças do aquecedor de grafite.