Efetor final de cerâmica

A Semicorex é sua parceira para componentes e montagens de grafite avançado para suportar maior rendimento e melhores rendimentos em seu equipamento de processamento de semicondutores. Nossos especialistas em materiais estão prontos para trabalhar com você para desenvolver a solução ideal para seus requisitos de processamento, aquecimento e manuseio de wafer. Nosso Ceramic End Effector tem uma boa vantagem de preço e cobre muitos dos mercados europeu e americano. Estamos ansiosos para nos tornarmos seu parceiro de longo prazo na China.

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Descrição do produto

Ceramic End Effector é a mão do robô que move wafers semicondutores entre as posições em equipamentos de processamento de wafer e transportadores. O efetuador final deve ser dimensionalmente preciso e termicamente estável, ao mesmo tempo em que possui uma superfície lisa e resistente à abrasão para manusear wafers com segurança sem danificar dispositivos ou produzir contaminação particulada. Nosso efetor de extremidade de cerâmica de carboneto de silício de alta pureza oferece resistência superior ao calor, uniformidade térmica uniforme para espessura e resistência consistentes da camada epi e resistência química durável.

Na Semicorex, nos concentramos em fornecer Efetor de cerâmica de alta qualidade e econômico, priorizamos a satisfação do cliente e fornecemos soluções econômicas. Estamos ansiosos para nos tornarmos seu parceiro de longo prazo, oferecendo produtos de alta qualidade e atendimento excepcional ao cliente.

Parâmetros do efetor final de cerâmica

Principais especificações do revestimento CVD-SIC
Propriedades SiC-CVD
Estrutura de cristal	FCC fase β
Densidade	g/cm³	3.21
Dureza	Dureza Vickers	2500
Tamanho de grão	Î¼m	2~10
Pureza Química	%	99.99995
Capacidade de calor	J·kg-1 ·K-1	640
Temperatura de sublimação	℃	2700
Força Felexural	MPa (RT 4 pontos)	415
Módulo de Young	Gpa (dobra de 4pt, 1300â)	430
Expansão Térmica (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Condutividade térmica	(W/mK)	300