Efetor final cerâmico

A Semicorex é sua parceira em componentes e conjuntos avançados de grafite para oferecer maior rendimento e melhores rendimentos em seus equipamentos de processamento de semicondutores. Nossos especialistas em materiais estão prontos para trabalhar com você para desenvolver a solução ideal para seus requisitos de manuseio, aquecimento e processamento de wafers. Nosso Ceramic End Effector tem uma boa vantagem de preço e cobre muitos dos mercados europeu e americano. Esperamos nos tornar seu parceiro de longo prazo na China.

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Descrição do produto

Ceramic End Effector é a mão do robô que move wafers semicondutores entre posições em equipamentos de processamento de wafer e transportadores. O efetor final deve ser dimensionalmente preciso e termicamente estável, ao mesmo tempo que possui uma superfície lisa e resistente à abrasão para manusear wafers com segurança, sem danificar dispositivos ou produzir contaminação por partículas. Nosso efetor final cerâmico de carboneto de silício de alta pureza fornece resistência ao calor superior, uniformidade térmica uniforme para espessura e resistência consistentes da camada epi e resistência química durável.

Na Semicorex, nos concentramos em fornecer Efetores finais cerâmicos de alta qualidade e econômicos, priorizamos a satisfação do cliente e fornecemos soluções econômicas. Esperamos nos tornar seu parceiro de longo prazo, fornecendo produtos de alta qualidade e atendimento ao cliente excepcional.

Parâmetros do Efetor Final Cerâmico

Principais especificações do revestimento CVD-SIC
Propriedades SiC-CVD
Estrutura Cristalina	Fase β do FCC
Densidade	g/cm³	3.21
Dureza	Dureza Vickers	2500
Tamanho do grão	μm	2~10
Pureza Química	%	99.99995
Capacidade de calor	J kg-1 K-1	640
Temperatura de Sublimação	℃	2700
Força Felexural	MPa (TR 4 pontos)	415
Módulo de Young	Gpa (curvatura de 4 pontos, 1300°C)	430
Expansão Térmica (CTE)	10-6K-1	4.5
Condutividade térmica	(W/mK)	300