Susceptor de barril de reator revestido de carboneto

O Susceptor de Barril do Reator Revestido com Carboneto Semicorex é um produto de grafite de qualidade premium revestido com SiC de alta pureza, projetado especificamente para processos LPE. Com excelente resistência ao calor e à corrosão, este produto é perfeito para uso em aplicações de fabricação de semicondutores.

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Descrição do produto

Se você está procurando um susceptor de grafite de alto desempenho para formação de camada epitaxial em wafers semicondutores, o susceptor de barril de reator revestido com carboneto Semicorex é uma excelente escolha. Seu revestimento de carboneto de silício proporciona distribuição de calor e condutividade térmica superiores, garantindo desempenho excepcional até mesmo nos ambientes mais exigentes de alta temperatura.

Na Semicorex, nos concentramos em fornecer susceptor de barril de reator revestido de metal duro de alta qualidade e econômico, priorizamos a satisfação do cliente e fornecemos soluções econômicas. Esperamos nos tornar seu parceiro de longo prazo, fornecendo produtos de alta qualidade e atendimento ao cliente excepcional.

Parâmetros do susceptor de barril de reator revestido de carboneto

Principais especificações do revestimento CVD-SIC
Propriedades SiC-CVD
Estrutura Cristalina	Fase β do FCC
Densidade	g/cm³	3.21
Dureza	Dureza Vickers	2500
Tamanho do grão	μm	2~10
Pureza Química	%	99.99995
Capacidade de calor	J kg-1 K-1	640
Temperatura de Sublimação	℃	2700
Força Felexural	MPa (TR 4 pontos)	415
Módulo de Young	Gpa (curvatura de 4 pontos, 1300°C)	430
Expansão Térmica (CTE)	10-6K-1	4.5
Condutividade térmica	(W/mK)	300

Características do susceptor de barril de reator revestido de carboneto

- Tanto o substrato de grafite quanto a camada de carboneto de silício têm boa densidade e podem desempenhar um bom papel protetor em ambientes de trabalho corrosivos e de alta temperatura.

- O susceptor revestido de carboneto de silício usado para crescimento de cristal único tem um nivelamento de superfície muito alto.

- Reduza a diferença no coeficiente de expansão térmica entre o substrato de grafite e a camada de carboneto de silício, melhorando efetivamente a força de ligação para evitar rachaduras e delaminação.

- Tanto o substrato de grafite quanto a camada de carboneto de silício possuem alta condutividade térmica e excelentes propriedades de distribuição de calor.

- Alto ponto de fusão, resistência à oxidação em altas temperaturas, resistência à corrosão.