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Barril Reator Epitaxial Revestido com SiC

Barril Reator Epitaxial Revestido com SiC

O Barril Reator Epitaxial Revestido com SiC Semicorex é um produto de grafite de alta qualidade revestido com SiC de alta pureza. Sua excelente densidade e condutividade térmica o tornam a escolha ideal para uso em processos LPE, proporcionando distribuição de calor excepcional e proteção em ambientes corrosivos e de alta temperatura.

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Descrição do produto

Quando se trata de fabricação de semicondutores, o cilindro reator epitaxial revestido de SiC Semicorex é a escolha certa para desempenho superior e distribuição de calor excepcional. Revestido com SiC de alta pureza, este produto de grafite oferece excelente resistência à corrosão e ao calor, garantindo sempre resultados confiáveis ​​e consistentes.

Na Semicorex, nos concentramos em fornecer produtos de alta qualidade e econômicos aos nossos clientes. Nosso barril reator epitaxial revestido com SiC tem uma vantagem de preço e é exportado para muitos mercados europeus e americanos. Nosso objetivo é ser seu parceiro de longo prazo, oferecendo produtos de qualidade consistente e atendimento excepcional ao cliente.


Parâmetros do Barril do Reator Epitaxial Revestido com SiC

Principais especificações do revestimento CVD-SIC

Propriedades SiC-CVD

Estrutura de cristal

FCC fase β

Densidade

g/cm³

3.21

Dureza

Dureza Vickers

2500

Tamanho de grão

μm

2~10

Pureza Química

%

99.99995

Capacidade de calor

J·kg-1 ·K-1

640

Temperatura de sublimação

2700

Força Felexural

MPa (RT 4 pontos)

415

Módulo de Young

Gpa (dobra de 4pt, 1300â)

430

Expansão Térmica (C.T.E)

10-6K-1

4.5

Condutividade térmica

(W/mK)

300


Características do tambor do reator epitaxial revestido com SiC

- Tanto o substrato de grafite quanto a camada de carboneto de silício têm boa densidade e podem desempenhar um bom papel de proteção em ambientes de trabalho corrosivos e de alta temperatura.

- O susceptor revestido de carboneto de silício usado para crescimento de cristal único tem um nivelamento de superfície muito alto.

- Reduza a diferença no coeficiente de expansão térmica entre o substrato de grafite e a camada de carboneto de silício, melhore efetivamente a força de ligação para evitar rachaduras e delaminação.

- Tanto o substrato de grafite quanto a camada de carboneto de silício têm alta condutividade térmica e excelentes propriedades de distribuição de calor.

- Alto ponto de fusão, resistência à oxidação em alta temperatura, resistência à corrosão.




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