O revestimento Semicorex SiC EPI 3 1/4" Barrel Susceptor oferece excelente estabilidade térmica e resistência ao ataque químico, enquanto o substrato de grafite oferece propriedades superiores de transferência de calor.
O susceptor de barril Semicorex EPI 3 1/4" é um produto de grafite de alta qualidade revestido com SiC de alta pureza, oferecendo excepcional resistência ao calor e à corrosão. Ele foi projetado especificamente para aplicações LPE na indústria de fabricação de semicondutores.
Nossos susceptores de barril EPI 3 1/4" são projetados para uso em uma variedade de indústrias, incluindo aeroespacial, automotiva e eletrônica. Estamos comprometidos em fornecer produtos de alta qualidade a um preço competitivo e nos dedicamos a construir produtos de longo prazo relacionamento com nossos clientes. Contate-nos hoje para saber mais sobre nossos clientes.Revestido com SiCcadinhos de grafite e como eles podem beneficiar o seu negócio.
Parâmetros do Susceptor de Barril EPI 3 1/4"
Principais especificações deCVD-SICRevestimento |
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Propriedades SiC-CVD |
||
Estrutura Cristalina |
Fase β do FCC |
|
Densidade |
g/cm³ |
3.21 |
Dureza |
Dureza Vickers |
2500 |
Tamanho do grão |
μm |
2~10 |
Pureza Química |
% |
99.99995 |
Capacidade de calor |
J kg-1 K-1 |
640 |
Temperatura de Sublimação |
℃ |
2700 |
Força Felexural |
MPa (TR 4 pontos) |
415 |
Módulo de Young |
Gpa (curvatura de 4 pontos, 1300°C) |
430 |
Expansão Térmica (CTE) |
10-6K-1 |
4.5 |
Condutividade térmica |
(W/mK) |
300 |
Características do receptor de barril EPI 3 1/4"
Revestimento de SiCfornece excelente estabilidade térmica e resistência ao ataque químico
O substrato de grafite oferece propriedades superiores de transferência de calor
Alta densidade e dureza
Alta pureza química
Alta capacidade de calor
Alta temperatura de sublimação
Alta resistência à flexão
Módulo de Young alto
Baixo coeficiente de expansão térmica
Alta condutividade térmica