Semicorex é um fabricante e fornecedor em grande escala de Susceptor de Barril Revestido de SiC na China. Nós nos concentramos em indústrias de semicondutores, como camadas de carboneto de silício e semicondutores epitaxiais. Nossos produtos têm uma boa vantagem de preço e cobrem muitos mercados europeus e americanos. Estamos ansiosos para nos tornar seu parceiro de longo prazo.
SemicorexSusceptor de barril revestido de SiCé um transportador de grafite revestido com SiC de alta pureza, usado no processo para fazer crescer a camada epitaxial no chip wafer, que é adequado para muitos reatores epitaxiais. Possui alta resistência ao calor e à corrosão, que possui grande estabilidade em ambientes extremos.
NossoSiC revestidoO Barrel Susceptor também é resistente à oxidação e corrosão em alta temperatura, tornando-o um produto confiável e durável. Seu alto ponto de fusão garante que ele possa suportar o ambiente de alta temperatura necessário para a fabricação eficiente de semicondutores.
Contate-nos hoje para saber mais sobre nossosSiC revestidoReceptor de barril
Parâmetros deSiC revestidoReceptor de barril
Principais especificações do revestimento CVD-SIC |
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Propriedades SiC-CVD |
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Estrutura Cristalina |
Fase β do FCC |
|
Densidade |
g/cm³ |
3.21 |
Dureza |
Dureza Vickers |
2500 |
Tamanho do grão |
μm |
2~10 |
Pureza Química |
% |
99.99995 |
Capacidade de calor |
J kg-1 K-1 |
640 |
Temperatura de Sublimação |
℃ |
2700 |
Força Felexural |
MPa (TR 4 pontos) |
415 |
Módulo de Young |
Gpa (curvatura de 4 pontos, 1300°C) |
430 |
Expansão Térmica (CTE) |
10-6K-1 |
4.5 |
Condutividade térmica |
(W/mK) |
300 |
Recursos deSiC revestidoReceptor de barril
-Evite descascar e garanta o revestimento em toda a superfície
Resistência à oxidação em altas temperaturas: Estável em altas temperaturas de até 1600°C
Alta pureza: feita por deposição química de vapor CVD sob condições de cloração de alta temperatura.
Resistência à corrosão: alta dureza, superfície densa e partículas finas.
Resistência à corrosão: ácidos, álcalis, sal e reagentes orgânicos.
- Obtenha o melhor padrão de fluxo de gás laminar
- Garantir uniformidade do perfil térmico
- Evitar qualquer contaminação ou difusão de impurezas