Susceptor de barril revestido de SiC

SemicorexSusceptor de barril revestido de SiCé um transportador de grafite revestido com SiC de alta pureza, usado no processo para fazer crescer a camada epitaxial no chip wafer, que é adequado para muitos reatores epitaxiais. Possui alta resistência ao calor e à corrosão, que apresenta grande estabilidade em ambientes extremos.
NossoSiC revestidoO Barrel Susceptor também é resistente à oxidação e corrosão em alta temperatura, tornando-o um produto confiável e durável. Seu alto ponto de fusão garante que ele possa suportar o ambiente de alta temperatura necessário para a fabricação eficiente de semicondutores.
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Parâmetros deSiC revestidoReceptor de barril

Características deSiC revestidoReceptor de barril

-Evite descascar e garanta o revestimento em toda a superfície

Resistência à oxidação em altas temperaturas: Estável em altas temperaturas de até 1600°C

Alta pureza: feita por deposição química de vapor CVD sob condições de cloração de alta temperatura.

Resistência à corrosão: alta dureza, superfície densa e partículas finas.

Resistência à corrosão: ácidos, álcalis, sal e reagentes orgânicos.

- Obtenha o melhor padrão de fluxo de gás laminar

- Garantir uniformidade do perfil térmico

- Evitar qualquer contaminação ou difusão de impurezas