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Susceptor de barril revestido de SiC
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Susceptor de barril revestido de SiC

Semicorex é um fabricante e fornecedor em grande escala de Susceptor de Barril Revestido de SiC na China. Nós nos concentramos em indústrias de semicondutores, como camadas de carboneto de silício e semicondutores epitaxiais. Nossos produtos têm uma boa vantagem de preço e cobrem muitos mercados europeus e americanos. Estamos ansiosos para nos tornar seu parceiro de longo prazo.

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Descrição do produto

SemicorexSusceptor de barril revestido de SiCé um transportador de grafite revestido com SiC de alta pureza, usado no processo para fazer crescer a camada epitaxial no chip wafer, que é adequado para muitos reatores epitaxiais. Possui alta resistência ao calor e à corrosão, que possui grande estabilidade em ambientes extremos.
NossoSiC revestidoO Barrel Susceptor também é resistente à oxidação e corrosão em alta temperatura, tornando-o um produto confiável e durável. Seu alto ponto de fusão garante que ele possa suportar o ambiente de alta temperatura necessário para a fabricação eficiente de semicondutores.
Contate-nos hoje para saber mais sobre nossosSiC revestidoReceptor de barril


Parâmetros deSiC revestidoReceptor de barril

Principais especificações do revestimento CVD-SIC

Propriedades SiC-CVD

Estrutura Cristalina

Fase β do FCC

Densidade

g/cm³

3.21

Dureza

Dureza Vickers

2500

Tamanho do grão

μm

2~10

Pureza Química

%

99.99995

Capacidade de calor

J kg-1 K-1

640

Temperatura de Sublimação

2700

Força Felexural

MPa (TR 4 pontos)

415

Módulo de Young

Gpa (curvatura de 4 pontos, 1300°C)

430

Expansão Térmica (CTE)

10-6K-1

4.5

Condutividade térmica

(W/mK)

300


Recursos deSiC revestidoReceptor de barril

-Evite descascar e garanta o revestimento em toda a superfície

Resistência à oxidação em altas temperaturas: Estável em altas temperaturas de até 1600°C

Alta pureza: feita por deposição química de vapor CVD sob condições de cloração de alta temperatura.

Resistência à corrosão: alta dureza, superfície densa e partículas finas.

Resistência à corrosão: ácidos, álcalis, sal e reagentes orgânicos.

- Obtenha o melhor padrão de fluxo de gás laminar

- Garantir uniformidade do perfil térmico

- Evitar qualquer contaminação ou difusão de impurezas




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