Susceptor de barril revestido de carboneto de silício

O Susceptor de Barril Revestido com Carboneto de Silício Semicorex é um produto de grafite de alta qualidade revestido com SiC de alta pureza, oferecendo excepcional resistência ao calor e à corrosão. Ele foi projetado especificamente para aplicações LPE na indústria de fabricação de semicondutores.

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Descrição do produto

NossoSusceptor de barril revestido de carboneto de silícioda Semicorex é uma solução ideal para o cultivo de monocristais em ambientes corrosivos e de alta temperatura.

Na Semicorex, nos concentramos em fornecer produtos de alta qualidade e com boa relação custo-benefíciocarboneto de silício revestidosusceptor de barril, priorizamos a satisfação do cliente e fornecemos soluções econômicas. Esperamos nos tornar seu parceiro de longo prazo, fornecendo produtos de alta qualidade e atendimento ao cliente excepcional.

Parâmetros deCarboneto de Silício RevestidoReceptor de barril

Principais especificações deRevestimento CVD-SIC
Propriedades SiC-CVD
Estrutura de cristal	Fase β do FCC
Densidade	g/cm³	3.21
Dureza	Dureza Vickers	2500
Tamanho de grão	μm	2~10
Pureza Química	%	99.99995
Capacidade de calor	J·kg-1·K-1	640
Temperatura de sublimação	℃	2700
Força Felexural	MPa (TR 4 pontos)	415
Módulo de Young	Gpa (curvatura de 4 pontos, 1300°C)	430
Expansão Térmica (CTE)	10-6K-1	4.5
Condutividade térmica	(W/mK)	300

Características deCarboneto de Silício RevestidoReceptor de barril

- Tanto o substrato de grafite quanto a camada de carboneto de silício têm boa densidade e podem desempenhar um bom papel protetor em ambientes de trabalho corrosivos e de alta temperatura.

- O susceptor revestido de carboneto de silício usado para crescimento de cristal único tem um nivelamento de superfície muito alto.

- Reduza a diferença no coeficiente de expansão térmica entre o substrato de grafite e a camada de carboneto de silício, melhorando efetivamente a força de ligação para evitar rachaduras e delaminação.

- Tanto o substrato de grafite quanto a camada de carboneto de silício possuem alta condutividade térmica e excelentes propriedades de distribuição de calor.

- Alto ponto de fusão, resistência à oxidação em altas temperaturas, resistência à corrosão.

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