Cilindro Susceptor Revestido com SiC para Câmara de Reator LPE

O Barril Susceptor Revestido com SiC da Semicorex para a Câmara do Reator LPE é um produto de qualidade premium, fabricado com os mais altos padrões de precisão e durabilidade. Oferece excelente condutividade térmica, resistência à corrosão e é altamente adequado para aplicações LPE na fabricação de semicondutores.

Nosso barril susceptor revestido de SiC para a câmara do reator LPE foi projetado para alcançar o melhor padrão de fluxo de gás laminar, garantindo a uniformidade do perfil térmico. Isso ajuda a evitar qualquer contaminação ou difusão de impurezas, garantindo crescimento epitaxial de alta qualidade no chip wafer.

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Parâmetros do cilindro susceptor revestido de SiC para a câmara do reator LPE

Características do cilindro susceptor revestido de SiC para a câmara do reator LPE

- Tanto o substrato de grafite quanto a camada de carboneto de silício têm boa densidade e podem desempenhar um bom papel de proteção em ambientes de trabalho corrosivos e de alta temperatura.

- Susceptor revestido de carboneto de silício usado para crescimento de cristal único tem um nivelamento de superfície muito alto.

- Reduza a diferença no coeficiente de expansão térmica entre o substrato de grafite e a camada de carboneto de silício, melhore efetivamente a força de ligação para evitar rachaduras e delaminação.

- Tanto o substrato de grafite quanto a camada de carboneto de silício têm alta condutividade térmica e excelentes propriedades de distribuição de calor.

- Alto ponto de fusão, resistência à oxidação em alta temperatura, resistência à corrosão.