Susceptor de barril revestido de carboneto de silício SiC

SemicorexSusceptor de barril revestido de carboneto de silício SiCé um produto de grafite revestido com SiC altamente purificado, que possui alta resistência ao calor e à corrosão. É adequado para LPE. OCarboneto de SilícioSusceptor de barril revestido de SiC utilizado em processos que formam a camada epixial em wafers semicondutores, que possui alta condutividade térmica e excelentes propriedades de distribuição de calor.

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Parâmetros deCarboneto de silício revestido com SiCReceptor de barril

Recursos deCarboneto de silício revestido com SiCReceptor de barril

- Tanto o substrato de grafite quanto a camada de carboneto de silício têm boa densidade e podem desempenhar um bom papel protetor em ambientes de trabalho corrosivos e de alta temperatura.

- O susceptor revestido de carboneto de silício usado para crescimento de cristal único tem um nivelamento de superfície muito alto.

- Reduza a diferença no coeficiente de expansão térmica entre o substrato de grafite e a camada de carboneto de silício, melhorando efetivamente a força de ligação para evitar rachaduras e delaminação.

- Tanto o substrato de grafite quanto a camada de carboneto de silício possuem alta condutividade térmica e excelentes propriedades de distribuição de calor.

- Alto ponto de fusão, resistência à oxidação em altas temperaturas, resistência à corrosão.