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Portador de gravação ICP de carboneto de silício

Portador de gravação ICP de carboneto de silício

Procurando um transportador de wafer confiável para processos de gravação? Não procure mais do que o Carbeto de Silício ICP Etching Carrier da Semicorex. Nosso produto é projetado para suportar altas temperaturas e limpeza química severa, garantindo durabilidade e longevidade. Com uma superfície limpa e lisa, nosso transportador é perfeito para manusear wafers imaculados.

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Descrição do produto

Garanta padrões ideais de fluxo de gás laminar e uniformidade do perfil térmico com o Carbeto de Silício ICP Etching Carrier da Semicorex. Nosso produto é projetado para alcançar os melhores resultados possíveis para deposição de filmes finos e processos de manuseio de wafer. Com resistência superior ao calor e à corrosão, nosso transportador é a escolha perfeita para aplicações exigentes.

Na Semicorex, nos concentramos em fornecer produtos de alta qualidade e econômicos aos nossos clientes. Nosso Carbeto de Silício ICP Etching Carrier tem uma vantagem de preço e é exportado para muitos mercados europeus e americanos. Nosso objetivo é ser seu parceiro de longo prazo, oferecendo produtos de qualidade consistente e atendimento excepcional ao cliente.

Entre em contato conosco hoje para saber mais sobre nosso Carbeto de Silício ICP Etching Carrier.


Parâmetros do Carbeto de Silício ICP Etching Carrier

Principais especificações do revestimento CVD-SIC

Propriedades do SiC-CVD

Estrutura de cristal

FCC fase β

Densidade

g/cm³

3.21

Dureza

Dureza Vickers

2500

Tamanho de grão

μm

2~10

Pureza Química

%

99.99995

Capacidade de calor

J·kg-1 ·K-1

640

Temperatura de sublimação

2700

Força Felexural

MPa (RT 4 pontos)

415

Módulo de Young

Gpa (dobra de 4pt, 1300â)

430

Expansão Térmica (C.T.E)

10-6K-1

4.5

Condutividade térmica

(W/mK)

300


Características do Carbeto de Silício ICP Etching Carrier

- Evite descascar e assegure o revestimento em toda a superfície

Resistência à oxidação em altas temperaturas: Estável em altas temperaturas de até 1600°C

Alta pureza: feito por deposição de vapor químico CVD sob condições de cloração de alta temperatura.

Resistência à corrosão: alta dureza, superfície densa e partículas finas.

Resistência à corrosão: ácidos, álcalis, sais e reagentes orgânicos.

- Obtenha o melhor padrão de fluxo de gás laminar

- Garantir a uniformidade do perfil térmico

- Prevenir qualquer contaminação ou difusão de impurezas





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